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国产“光刻厂”落地？官方正式回应！
近日，网传清华大学的国产 EUV 方案通过用“空间”换“时间”的方式，通过将光刻机放大为光刻厂的方案来规避技术难点，实现“换道超车”。对此，昨天下午中国电子工程设计院官方表示，该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
近日，网传清华大学的国产 EUV 方案通过用“空间”换“时间”的方式，通过将光刻机放大为光刻厂的方案来规避技术难点，实现“换道超车”。对此，昨天下午中国电子工程设计院官方表示，该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
