在7nm及以下制程的纳米级芯片中,供电网络(PDN)的阻抗控制已成为制约芯片性能的核心瓶颈。某5nm SoC在3.3V供电下,因PDN阻抗超标导致核心电压波动超过±5%,触发芯片降频保护机制。本文提出基于0.5mΩ目标阻抗的PDN协同仿真流程,结合埋入式电源轨(BPR)、纳米硅通孔(nTSV)及片上电容(MIMCAP)技术,实现PDN阻抗降低80%以上的效果。
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