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ASML宣布第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，5nm产能大涨600%
众所周知，荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。 不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。
众所周知，荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。 不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。
