当前位置:首页 > 单片机 > 单片机
[导读]众所周知,荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。 不过ASML不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。

众所周知,荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。

不过ASML不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。

随着制程工艺不断提升,晶圆的制造也越来越复杂,这也会导致晶圆中的错误更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统,内部也有复杂的光电子系统,能够产生、控制多个电子束,然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量,并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量,还要有计算系统处理电子束的数据。

简单来说,ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,工艺越先进,检测系统就越重要,它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。

目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试,已经交付给客户进行测试验证,未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。

最值得一提的是,ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束,所以产能提升了600%,可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

随着信息技术的飞速发展,芯片作为现代电子设备的核心部件,其制作工艺流程的精密与复杂程度日益提高。芯片的制作,不仅仅是一系列技术操作的集合,更是一场探索微观世界的工艺之旅。本文将带领读者走进芯片制作的世界,揭示其大致工艺流...

关键字: 芯片 半导体

满足快速发展的半导体行业对高性能、效率和可持续性的综合需求。

关键字: 半导体

在今年的展会上,除了展出去年11月加入尼得科集团的车床厂商“TAKISAWA”的车床之外,还会为您展示更丰富的产品阵容“面向所有工业领域的尼得科的机床产品”。以OneNidec的方式,为汽车、机器人、半导体、能源、建筑机...

关键字: 机器人 半导体 能源

美光首个可持续发展卓越中心彰显了公司对中国运营及本地社区的不懈承诺

关键字: 可持续发展 DRAM 半导体

业内消息,日前美国半导体公司KLA(科磊)在一份文件中表示,决定在2024年底之前退出平板显示器(FPD)业务,上百名员工被解雇。但在2024年底停止生产后,将继续为其停产产品线的安装基础提供服务。

关键字: 半导体 裁员 科磊 KLA Orbotech 奥宝科技

业内消息报道,半导体材料市场信息咨询公司TECHCET 预测今年全球半导体材料市场将出现反弹。2023年整体半导体行业环境低迷,同比下降6%后,随着形势转好,2024年预计将增长近7%。

关键字: 半导体

本文中,小编将对半导体IDM予以介绍,如果你想对它的详细情况有所认识,或者想要增进对它的了解程度,不妨请看以下内容哦。

关键字: 半导体 IDM

业内消息,上周韩媒报道三星SDI韩国基兴工厂发生火灾,随后三星SDI消防监督员向消防部门报案,消防部门赶往现场并花了约20分钟扑灭火情,火灾原因初步认定为建筑工地焊接引发,具体损失仍在调查中。

关键字: 三星 半导体

业内消息,近日高通表示已终止收购Autotalks的收购要约。高通以其手机芯片而闻名,但也建立了广泛的汽车芯片业务,在2023年曾表示将收购该公司。英国最高反垄断监管机构今年2月份表示,正在对该交易展开调查。

关键字: 反垄断 高通 半导体 Autotalks

思锐智能携业界尖端的离子注入(IMP)和原子层沉积(ALD)技术亮相SEMICON China 2024,持续建设全球一流的高端半导体制造装备,广泛赋能集成电路、第三代半导体等诸多高精尖领域。

关键字: 集成电路 半导体 第三代半导体
关闭
关闭