日本的东北大学小池淳一教授面向大尺寸液晶面板,开发出了栅极和源漏极均采用Cu布线的Cu-Mn合金技术。将Cu-Mn合金应用于栅极的基本技术已于2007年5月发布,而此次则开发出了能够进一步应用于源极和漏极的生产工艺。
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