西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的“863”MEMS领域重大专项课题———“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”于1月底顺利通过国家科技部专家组验收。 据了解,MEMS即微电子机械系统,集微型传感
台湾成功开发出了尺寸为50μm×50μm的小型压力传感器芯片,并在日前召开的“MEMS 2006”会议上进行了发布。通过对压力传感器部分的薄膜形成手法进行改进,实现了小型化。同时还使用明胶对传感器部分进行了封装。这种
爱普生东洋通信公司日前开发出一种使用水晶振荡器高精度测量压力的传感器产品“TSU”系列。配备水晶振荡器的频率随压力不同而变化,该产品就是利用这一原理测定压力。新产品共包括4个型号,最大测量压力从100k~1MPa
VTI公司推出了革命性的新型SCP1000系列压力传感器,准确性高、能耗低,可用在高度计当中。这种产品的测量范围涵盖了100 kPa 的大气压(SCP1000-D01)到 1600 kPa (SCP1000-D02)的深水压。作为3D-MEMS传感器开发的领先厂
介绍TPMS技术发展现状、趋势、市场。