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微传感器研究的现状与性能发展方向
压阻式压力传感器由于受p?n结耐温限制，只能用于120℃以下的工作温度，然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的压力传感器,例如测量锅炉、管道、高温容器内的压力，井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对
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微传感器研究的现状与性能发展方向分析
1、引言 微机电系统（Microelectro?Mechanical?Systems,MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、
