氧化物靶材

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先导交付国内首套G4.5代高迁移率氧化物靶材

金属氧化物半导体因具备迁移率良好、稳定性高、均匀性高、制造成本低等优点，被认为是可能取代硅基薄膜晶体管的新一代沟道层半导体材料。在平板显示领域，特别是在超高清，柔性显示以及印刷显示等新型显示技术方面具有巨大的应用潜力。

半导体
2020-05-29

g4.5代半导体材料氧化物靶材