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电子制造进入低成本高品质时代 洁净技术亟待优化
随着电子技术的发展,对洁净技术提出新的要求.有效降低洁净室建设/运营成本,减少能耗是洁净设计技术的发展目标。洁净室系统的设计与施工是电子信息产品制造过程中的重要环节，尤其是对于超大规模集成电路、高世代TFT-
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完善超纯水系统提高IC制造良率
在电子工业中，集成电路特征尺寸不断缩小，使得生产过程中超纯水的水质要求也愈来愈高。电子工厂洁净厂房设计中纯水供应是重要内容之一，各种电子产品生产工艺对纯水水质、水量要求均不相同。IC制造应关注超纯水水质
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大尺寸液晶面板的布线电阻减小一半 东北大学开发出Cu-Mn合金并计划量产
日本东北大学的小池淳一教授开发出了用于大尺寸液晶面板的低电阻Cu-Mn合金的技术。与目前液晶面板中所使用的Al布线相比，电阻减为一半。通过在驱动TFT栅极的左右方向的扫描线布线中使用该布线材料，即使是大尺寸面板
