半导体相关设备销量增长，Veeco去年Q4营收同比提升22.7%
Veeco与ALLOS共同展示200mm硅基氮化镓外延片产品
Veeco未来将把公司重心转向Micro LED和Mini LED
国家知识产权局专利复审委认定Veeco公司无基座式反应器专利无效
中微赢得起诉Veeco专利侵权的关键专利有效性审决
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