摘要:针对搬运机器人的前轮转向舵机和后轮驱动电机的控制要求,采用以Cortex-M3为内核的STM32F107作为主控制器,采用嵌入实时操作系统μC/OS-II,将程序分成启动任务、电机转速控制任务、舵机控制任务等相对独立
Rorze支持4个端口的450mm晶圆搬运机器人在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕张Messe会展中心)上首次展出。该机器人可使支持4个端口的制造装置开发变得容易,有助于削减成本及提高可靠性。 此前的
在与微细化同为半导体制造重要课题的大口径化方面,在“SEMICON Japan 2010”(2010年12月1~3日,幕张Messe会展中心)上450mm晶圆的搬运机器人及晶圆盒等相关展品的数量超过了预期。一直关注该领域的多名记者均表示