据业内消息，近日美国一家商业精密制造公司Zyvex表示制出了亚纳米分辨率光刻系统ZyvexLitho1，这个系统没有采用EUV光刻技术，但是却能产出只有0.7nm线宽的芯片，是目前最高制造精度。
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