MEMS

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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。常
  • MEMS加速度计的应用原理是什么?具体介绍

    MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术,使得其尺寸大大缩小,一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。

  • MEMS是什么?具体有什么用?

    MEMS的全称是Micro- Electro Mechanical System,简称为微机电系统,是在芯片上将微机械与微电路包括集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等集成一体的微米/纳米级系统。通俗的说,MEMS工艺是通过微型传统机械系统的部件,采用半导体加工技术把微型机械系统与集成电路固定在硅晶圆上,接着按照应用场景的变化采用特殊定制的封装形式,最后经过切割组装形成硅基换能器。

  • MEMS传感器可以分成哪些应用类型?

    MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高,适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS传感器技术是指用微电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、

  • MEMS加速度计在方面都有哪些应用?起到什么作用?

    加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力,就比如地球引力,也就是重力。加速力可以是个常量,比如g,也可以是变量。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术,使得其尺寸大大缩小,一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。

  • 采用MEMS加速度计的设计方案有哪些?

    硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点,而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作,使其近年来发展迅速。Mems的加速度计分为六大类:电容式加速度计;压阻式加速度计;压电式加速度计;谐振式加速度计;隧穿式加速度计;热对流式加速度计。

  • 重视科技发展,推动智慧城市平台落地!

    在智慧城市建设的背景下,为了更加客观、直观地分析评估、模拟推演和辅助决策城市建设活动,公司围绕传统的空间规划业务推进全面数字化转型,在地上空间聚焦城市画像技术的应用、在地下空间聚焦数字孪生技术的拓展,探索建立地上、地下一体化的智慧数字城市平台。

  • MEMS技术面面观

    SEMI在2019年发布的报告《2018至2023MEMS及传感器产能报告(MEMS & Sensors Fab Report to 2023)》中指出,受到通信、运输、医疗、移动、工业和其他物联网应用需求驱动,2018年到2023年,全球MEMS和传感器制造产能预计将增长25%。报告预测到2023年,MEMS代工厂将占所有MEMS和传感器产线的46%。MEMS的英文全称是Micro-Electro-Mechanical System,即微机电系统,它的尺寸通常在几毫米乃至更小,它是一个独立的智能系统。MEMS是目前备受关注的技术之一,它也是一种典型的多学科交叉的前沿性研究技术,涉及多种学科领域,如电子、机械、材料、制造、物理、化学、生物以及信息与自动控制等,它被认为是构建物联网基础物理感知层传感器的最主要选择之一。

  • 从概念到现状,解读MEMS 的国产机遇

    接着前几天所整理的《国内半导体材料产业现状及投资分析》,在同一天第四期品利芯视野投资分享会上,拥有15年半导体从业经历,目前专注于半导体及相关领域行业研究投资的唐李明先生,做了一场题为《MEMS产业投资分析》演讲,小编整理如下。

  • 博世:拐点已至,传感器不再只拼价格

    传感器,特别是MEMS(微机电系统)传感器,近年来出货量基本都保持在两位数增长,但由于价格战惨烈,并不是所有厂商都因为出货量增长而带来收益。智能手机市场增速已经停滞,新型可穿戴设备、AR/VR、物联网与汽车等应用仍继续拉动传感器出货量增长,但平均销售单价(ASP)持续下跌严重侵蚀了很多厂商的利润,除了排名靠前的几家厂商还能盈利,后面的厂商多数在盈亏线附近挣扎。

  • 惯性传感器误差源有哪些?惯性传感器基本知识介绍!

    以下内容中,小编将对惯性传感器的相关内容进行着重介绍和阐述,希望本文能帮您增进对惯性传感器的了解,和小编一起来看看吧。

  • 涨知识了!MEMS也可以用来监测地震

    无论在哪一年,全世界大约都会发生16次大地震,其中15次是7级,1次是8级或8级以上的地震[1]。因此,地震早期预警(EEW)系统的需求量很大。由日本气象厅(JMA)管理的覆盖全国的EEW系统[2]从2006年开始运行。地震台网由1000个间隔20至25公里的地震台组成。在2011年日本东北9.1级地震之后,日本气象厅收集了关于EEW系统的反馈:人们对地震预警系统表示熟悉,并发现它们很有用;参与者对JMA EEW系统的功效普遍给予了正面反馈,即使有假警报,大家的反馈也令人惊讶地积极。调查对象们都很熟悉早期预警系统的技术局限性,并认为即便是提供虚假警报的系统,也好过对于一个即将发生的地震没有任何预警。

  • 深入了解物联网,这几个物联网技术了解吗?

    为增进大家对物联网的认识,本文将对物联网中的几个重要技术予以介绍。

  • 智芯传感板装式压力传感器助力我国高端MEMS传感器做大、做强、做精、做专

    智芯传感锚定对标高端进口MEMS压力传感器产品,投入大量研发资金,利用其雄厚的技术科研实力,获得了多项自主研发专利,并掌握了包括传感器产品的设计、生产、封装、标定及模组的核心流程工艺在内的六大核心技术。

  • 电流消耗低于电池自放电,ADI MEMS加速度计让监测“永久在线”

    对于MEMS加速度计而言,低功耗的追求尚未达到止境。尤其是在某些对于功耗敏感的应用上,几十、几百nW的功耗水平提升,带来的可能是系统体验的巨大升级。

  • 什么是MEMS?中国半导体行业协会MEMS分会不容错过

    全球正经历第三次产业化浪潮,5G、物联网的发展极大地带动了MEMS产品的需求,MEMS市场规模正在实现突破性增长。而MEMS因其器件种类繁多、制造工艺不一等特点,制造一直是主要的行业痛点。 中国半导体行业协会MEMS分会 作为中国唯一的MEMS行业权威组织,为加速突破我国MEMS制造领域发展瓶颈,推动我国MEMS产业人才集聚、技术创新、成果转化。

  • 不是太了解MEMS?看完这篇MEMS文章你就懂了!

    为增进大家对MEMS的认识,本文将对MEMS的加工工艺、MEMS的技术优势等内容予以介绍。

  • MEMS和CMOS没什么区别?快看MEMS大佬是怎么说的吧!

    为增进大家对MEMS的认识,本文将对MEMS和CMOS的区别予以介绍。

  • MEMS大佬带你看MEMS,MEMS芯片级装配存在哪些难点?

    为增进大家对MEMS的认识,本文将对MEMS芯片级装配的难点予以介绍。

  • 如何借助高均匀性的 SOI 优化衬底在 MEMS 中实现多种设计创新?

    微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 是迄今最具潜力的 CMOS 传感器与驱动器电子器件集成解决方案。通过在 200mm 的单晶顶层硅下提供氧化埋层,SOI 衬底能够为创新的 MEMS 器件设计提供更多可能。

    Soitec
    2022-04-24
    Soitec SOI MEMS
  • MEMS传感器有什么优势?MEMS未来的技术发展趋势解析

    为继续增进大家对MEMS传感器的认识,本文将对MEMS传感器的优势以及MEMS未来的技术发展趋势予以介绍。