EUV光刻机开始争抢？三星李在镕跑ASML总部去催货

[导读]作为半导体生产中的重要设备，光刻机不可或缺，尤其是7nm以下先进工艺生产离不开的EUV光刻机，目前全球只有荷兰ASML公司能够生产，而台积电、三星、英特尔等晶圆生产大厂，都有迫切需求，因此这个市场出现了供不应求的局面。

作为半导体生产中的重要设备，光刻机不可或缺，尤其是7nm以下先进工艺生产离不开的EUV光刻机，目前全球只有荷兰ASML公司能够生产，而台积电、三星、英特尔等晶圆生产大厂，都有迫切需求，因此这个市场出现了供不应求的局面。

图源 | Koreanherald.com

据businesskorea报道，三星电子副会长李在镕正敦促ASML的高管尽早交付三星今年订购的9台的EUV光刻机。

该报道指出，李在镕日前在到访荷兰时，与ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管进行了会晤。李在镕要求ASML提前1个月交付EUV光刻机。对于三星的要求，传ASML考虑最快11月出货。

据悉，ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商，年产量为40余台，台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵，每台要价约1.3亿美元(近10亿元人民币)，由于是EUV制程必需的关键设备，台积电与三星电子的竞争日益激烈。

现阶段，确保EUV光刻机的数量是三星最紧迫的任务，如果EUV光刻机的安装延迟，全球客户最先进的高性能、低功耗芯片订单将流向台积电。

21ic家注意到，台积电最近公布了其三季度营收，实现同比21.6%的增长，其中7nm的占比最高为35%，最新的5nm工艺首次开始贡献营收，占比达到了8%，台积电表示，客户对5nm和基于5nm改进的4nm芯片的需求非常强劲，明年5nm贡献将接近甚至超过20%。面对台积电积极布局下一代先进工艺，三星无疑压力满满，此次催货EUV光刻机，就可见一斑。

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