全球最顶尖光刻机巨头出货超 100 台：EUV 时代全面加速！

ASML大家都不陌生，它是全球最顶尖的光刻机巨头，旗下的EUV光刻机更是目前最先进的半导体设备之一，可用于生产7nm和5nm芯片。之前，国内一直都想要从ASM那里进口一台EUV光刻机，但却始终买不到，这也导致国人对ASML这家公司的态度并不是很好。

ASML是一家总部设在荷兰埃因霍芬的全球知名半导体设备制造商，可为全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备，EUV光刻机是其最为业界所熟知的晶圆制造环节核心设备。台积电则是ASML生产EUV光刻机最大的行业客户与受益者，网络公开信息整理显示，台积电已经获得ASML生产EUV设备的一半，目前拥有约50台EUV光刻机。

众所周知，此前ASML的主要客户是台积电和三星，二者身为全球排名前二的芯片代工厂，对光刻机的需求非常高，每年都需要从ASML大量购买。尤其是台积电，相关数据表明，在前些年ASML有70%以上的EUV光刻机，都优先供货给了台积电。

因为缺芯、台积电和地缘政治等多种因素的影响，大家对半导体产业的关注度火速提升。这也让ASML这些原本在背后默默支持半导体产业发展的企业被“赶”到了台前。

作为全球领先的半导体设备供应商，这家来自荷兰的企业提供了全球芯片生产都绕不开的关键设备——光刻机。

尤其是在EUV光刻机方面，市场的关注度更是空前。这一方面是因为这个设备是芯片制造工艺走向7nm以下的关键;另一方面，这个设备的售价高达上亿美金，且只有ASML一家能做。因此其吸引了全球那么多的目光也情有可原。

正如很多分析人士所说，EUV光刻机真可以称得上是芯片制造的“皇冠”。

据业内透露，截至第二季度，ASML EUV 设备出货总量达到 102 台，随着需求量的提高和客户群的扩大，预计 2 年内累计供应量将增加 2 倍以上，标志着 EUV 时代正式拉开帷幕。

ASML扩大EUV设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到1.71亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，通过EUV可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进EUV设备的企业越来越多。

根据ASML的说法，5-7nm逻辑半导体(以每月45,000颗晶圆为基准)每个EUV层需要一台EUV设备，16nm及以下节点DRAM(以每月100,000颗晶圆为基准)每个EUV层则需要1.5-2台设备。三星电子计划，到今年下半年为止，将14nm DDR5 DRAM的EUV应用层数从1层增加到5层，SK海力士也计划增加EUV应用层数，因此，预计EUV设备的需求将进一步增加。

除了EUV层的增加，EUV设备的客户群也在逐渐扩大。继2018年三星电子首次引进7nm制程的EUV设备后，台积电和SK海力士也加入了EUV竞争。美国的美光和英特尔也在推进EUV设备的引进，预计市场规模将进一步扩大。

据 ETNews 报道，过去四个季度(2020 年第三季度-2021 年第二季度)，ASML EUV 设备出货总计 40 台，较之前四个季度(2019 年第三季度-2020 年第二季度)增长了 66%。ASML 今年的出货目标是 40 台左右，下半年将供应 25 台左右。

ASML 扩大 EUV 设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到 1.71 亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，通过 EUV 可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进 EUV 设备的企业越来越多。

根据 ASML 的说法，5-7nm 逻辑半导体(以每月 45,000 颗晶圆为基准)每个 EUV 层需要一台 EUV 设备，16nm 及以下节点 DRAM(以每月 100,000 颗晶圆为基准)每个 EUV 层则需要 1.5-2 台设备。三星电子计划，到今年下半年为止，将 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 应用层数从 1 层增加到 5 层，SK 海力士也计划增加 EUV 应用层数，因此，预计 EUV 设备的需求将进一步增加。

昨日，韩国存储厂商SK海力士宣布，公司第一代使用EUV光刻机生产的DRAM正式量产。

据介绍，公司旗下第四代 10 纳米級(1a)制程8Gigabit(Gb)LPDDR4 移动设备专用DRAM已经量产。作为SK海力士旗下首款采用EUV生产的DRAM，与上一代产品相比，新产品可以将使相同尺寸晶圆生产的 DRAM 芯片数量增加 25%，并能将功耗降低20%。

在更早之前，三星已经率先量产了使用EUV光刻机生产的DRAM，在过去多年稍显保守的美光也宣布，将在2024年生产基于EUV的DRAM。至此，三大DRAM大厂都跨入了EUV时代。

EUV层数的增加，无疑将推动产业对EUV光刻机的进一步需求。业界也积极预测，EUV时代将全面加速。

据悉，对此，AMSL也有意将EUV光刻机年产量从现有的40台提升到2022年的55台，直至2023年的60台产能，以保证市场有超过240台的EUV设备在运行。

AMSL对EUV光刻机的产量提升，主要来自下游台积电、三星、英特尔以及SK海力士等半导体制造商的强烈需求，即使这台设备的平均造价已达到惊人的1.5亿美元(约合人民币10亿元)。为此，这家2021年全球最受尊敬企业正致力于不断提升其产能。