[导读]作为芯片生产过程中最关键设备的光刻机,有着极高的技术壁垒,有“半导体工业皇冠上的明珠”之称,代表着人类文明的智慧结晶。在芯片这样一个争分夺秒的行业里,时间就是金钱。据ASML官方介绍,ASML也一直在追求光刻机极致的速度,目前最先进的DUV光刻机,每小时可以完成300片晶圆的光刻...
作为芯片生产过程中最关键设备的光刻机,有着极高的技术壁垒,有“半导体工业皇冠上的明珠”之称,代表着人类文明的智慧结晶。在芯片这样一个争分夺秒的行业里,时间就是金钱。据ASML官方介绍,ASML也一直在追求光刻机极致的速度,目前最先进的DUV光刻机,每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。换算一下,完成一整片晶圆只需要12秒,这还得扣除掉晶圆交换和定位的时间,实际光刻时间要更短。而一片晶圆的光刻过程,需要在晶圆上近100个不同的位置成像电路图案,所以完成1个影像单元(Field)的曝光成像也就约0.1秒。要实现这个成像速度,晶圆平台在以高达7g的加速度高速移动。F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒,而晶圆平台的7g加速度,若从0加速到100km/h只要约0.4秒。DUV是深紫外线,EUV是极深紫外线。从制程工艺来看,DUV只能用于生产7nm及以上制程芯片。而只有EUV能满足7nm晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。一分钟看懂芯片制造全过程↓↓↓芯片制造是一层层向上叠加的,最高可达上百次叠加。每一次的叠加,都必须和前一次完美重叠,重叠误差要求是1~2纳米。而晶圆从传送模组放置在晶圆平台上,会产生一定的机械误差,而精密机械的误差是微米等级(1微米=1,000纳米)。每次曝光之前,必须针对每片晶圆做精密的量测,截取到晶圆每一个区块纳米等级的微小误差。在曝光阶段实时校正,达到纳米等级的准度。光刻机以极高的加速度进行扫描曝光,在不到0.1秒的时间,又要急停并回头往反方向扫描,这么大的力量如果不做控制,会让整机产生振动,是不可能达到完美成像的。ASML光刻机利用所谓的balance mass来吸收平衡晶圆平台所施加于机座的反作用力,使整座机台完全静止。我们国产自主研发也突破了光刻机设备上非常多的核心零部件,包括双工件台、物镜系统、浸没系统和光源系统等等。双工件台由华卓精科负责,上海微电子也能提供整机装备,光源系统有望通过中科院的高能同步辐射光源设备来解决。在国产光刻机领域,先是中科院的高能同步辐射光源设备,然后是中科科美的两大镀膜装置,分别可以解决国产光刻机在光源以及光学镜头的需求。由中科院高能物理研究所参与承建的高能同步辐射光源设备,已经实现安装。这项高能同步辐射光源也被央视公开“点名”,用了较长篇幅进行报道。中科科美分别研制了直线式劳埃透镜镀膜装置和纳米聚焦镜镀膜装置。这两项装置主要面向光刻机的镜头配备,有了这些镀膜装置,可以很大程度提高国产光刻机在光学镜头上的水准。虽然我们制造出整台EUV光刻机还有一段距离,但是随着每一项技术的进步,都在奠定国产光刻机的未来,加速国产光刻机的发展。而且推动了国产光刻机从成熟工艺到高端工艺的迈进。一旦成功掌握,中国可能会生产出更便宜,成本更低的光刻机设备。事实证明,外界的限制因素只会让国产科技发展得更快,没有什么力量是可以阻止国产科技崛起的。对国产光刻机你有什么看法呢?END
本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
近日,央视新闻1+1直播华为Mate60 Pro,在这段将近二十分钟的新闻直播里,观众见证了中国高科技产业一个新的里程碑。
关键字:
华为Mate60
芯片制造
7月11日消息,鸿海集团于7月10日发布声明称,已退出与印度跨国企业Vedanta集团合资的价值195亿美元的半导体企业。这距离鸿海与Vedanta宣布成立合资半导体制造公司仅一年多的时间,这也使得印度政府发展本土半导体...
关键字:
鸿海
半导体
芯片制造
行业调研数据显示,芯片行业的产值和营收一直在不断提高,同时其地位受到大众的关注。光刻机在芯片领域当然独占鳌头,但一颗芯片的成功不只取决于光刻部分,测试对芯片的质量更有不容忽视的意义。
关键字:
光刻机
自动化测试
芯片制造
图形转移、新材料和新工艺、良率提升的芯片制造三大核心挑战中,未来的封装集成将发挥越来越大的作用。上游晶圆制造环节(精密图形)进展的放缓,为后道流程的新工艺和良率提升提供了更多创新空间和追赶的机会
关键字:
图形转移
新材料
芯片制造
Jason Zee表示,半导体技术已经使得工业、运输、教育、医疗保健、娱乐等领域发生了天翻地覆的变化,而EUV光刻技术将再次打开芯片制造领域多年增长的大门。他说:“我们对电子产业的未来感到非常兴奋”。
关键字:
半导体
技术
芯片制造
在科技领域,很多突破都与“多”和“大”有关,但是在集成电路领域,有一个部件正在不断地往“小”的方向发展,那就是晶体管。当我们觉得手机变得更好,汽车变得更好,电脑变得更好时,那是因为在背后,晶体管变得更好,我们的芯片中有更...
关键字:
三星
芯片制造
工厂
当前,半导体行业一个残酷而又不得不面对的现实就是“天天像过年”的时期结束了。“裁员”“砍单”“降价”“股市下挫”危机四起,即便是全球半导体生产中心的中国台湾,警惕感也在迅速蔓延。然而处在这样的一个下行周期,台湾半导体厂商...
关键字:
半导体
芯片
芯片制造
近日,提供商业和技术信息的电子材料咨询公司TECHCET宣布了半导体相关光刻胶市场的最新展望。他们预计,该市场2022 年收入将增长 7.5%,达到近 23 亿美元。正如TECHCET新发布的那样,预计2021年至202...
关键字:
芯片
光刻胶
芯片制造
近日,半导体研究机构IC Insights最新发布的报告称,虽然中国大陆自2005年以来一直是全球最大芯片消费国,但中国大陆的芯片产值却一直与芯片消费额差距巨大。80%需要依赖别人
关键字:
芯片
芯片制造
台积电
据《日经亚洲评论》昨日报导,全球芯片大厂英飞凌(Infineon Technologies AG)首席营销官Helmut Gassel接受采访时表示,目前整体环境比去年更具挑战性、消费者信心下滑,个人电脑、电视和智能手机...
关键字:
英飞凌
芯片
芯片制造
根据印度基金管理公司 Next Orbit Ventures 的一份声明,该项目将投资约30亿美元建立一个65纳米的模拟芯片厂。以色列 Tower Semiconductor(高塔半导体)公司表示,它将为该项目提供技术支...
关键字:
印度
芯片
芯片制造
继去年四季度开始全产品线涨价之后,3月24日,mcu及功率半导体芯片大厂意法半导体再度向经销商发出涨价函,宣布将于2022年第二季度再度上调所有产品线的价格,包括现有积压产品。虽然全球芯片制造商都在积极的扩产,但是目前缺...
关键字:
半导体
意法半导体
芯片制造
4月21日消息,当地时间周二,台积电创始人张忠谋以嘉宾身份在美国智库布鲁金斯学会发表谈话表示,美国芯片制造业的扩张并没有足够的人才支持,同时美国制造成本太高,而此前台积电赴美建厂则是在美国政府敦促下决定的。
关键字:
台积电
张忠谋
芯片
芯片制造
英特尔是半导体行业和计算创新领域的全球领先厂商 ,创始于1968年。如今,英特尔正转型为一家以数据为中心的公司 。英特尔与合作伙伴一起,推动人工智能、5G、智能边缘等转折性技术的创新和应用突破 ,驱动智能互联世界。
关键字:
英特尔
手机市场
智能手机
芯片制造
来源: 酷玩实验室ID:coollabs华为的事情,还是闹大了。甚至连我妈都来问我,“华为是不是要完蛋了”。临到了,老太太还问了一个终极命题,“我们内地自己的芯片,到底行不行”。这让我想起一个号称“央视最牛采访的视频”。...
关键字:
国产芯片
芯片制造
“湿法清洗”一词源自行业早期的预防性维护方式,即拆卸反应腔室并将石英部件浸入酸水冲洗,之后再晾干并重新组装。如今对于需要高精度维护的设备而言,其中唯一涉及“湿”的常用物质便是去离子水湿润过的无绒布,不过“湿法清洗”这个传...
关键字:
湿法清洗
芯片制造
英特尔(Intel)公司首席执行官帕特·盖尔辛格(Pat Gelsinger)表示,芯片制造业需要进行更多的整合。几天前,有报道称,这家美国芯片制造商正在谈判以300亿美元的价格收购芯片代工企业格芯(GlobalFoun...
关键字:
英特尔
半导体
芯片制造
过去一段时间里,我们关注了半导体行业的各个位面,比如芯片制造,操作系统,地域纷争等等,也欣喜地看到中国半导体企业在产业链中的快速就位。但同时应当注意到的是,有一扇技术大门却一直没有被推开,那就是EDA工具。
关键字:
EDA工具
半导体
芯片制造