在当今工业领域，随着设备智能化、高效化发展，对辅助电源的性能要求日益严苛。传统辅助电源在面对高电压、高功率密度以及节能需求时逐渐力不从心，而碳化硅(SiC)技术的兴起，为工业设备辅助电源驱动提供了创新且高效的解决方案。
工业机器人末端执行器如同人类双手般完成抓取、装配、打磨等核心任务，而力控精度直接决定了生产良率与设备寿命。MEMS加速度计凭借其微米级尺寸、微瓦级功耗与毫秒级响应速度，正成为工业机器人末端力控系统的“神经末梢”，推动制造业向柔性化、智能化方向深度演进。
半导体制造设备向7nm及以下制程加速演进，低噪声MEMS加速度计已成为Stepper、晶圆检测机等核心装备实现纳米级精密定位的关键传感器。其信号处理系统需在0.01g量级的微弱加速度信号中，剥离出由机械振动、热漂移、电磁干扰等引发的复合噪声，同时满足实时性、低功耗与高可靠性的严苛要求。然而，现有技术方案在超低噪声设计、多物理场耦合补偿、动态非线性校正等方面面临根本性挑战，迫使行业重新审视从传感器接口到数字信号处理的全链条创新路径。
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