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[导读]互补式金属氧化物半导体制程的微机电系统(CMOS MEMS)因能整合多元化功能,故掀起市场热潮,国内不仅台积电、联电两大半导体龙头竞相投入研发,不少晶圆代工、MEMS厂商也对此市场亦跃跃欲试,日前,矽创电子即证实将


互补式金属氧化物半导体制程的微机电系统(CMOS MEMS)因能整合多元化功能,故掀起市场热潮,国内不仅台积电、联电两大半导体龙头竞相投入研发,不少晶圆代工、MEMS厂商也对此市场亦跃跃欲试,日前,矽创电子即证实将与台湾晶圆代工至封装、测试业者合作,并于2011年推出首款CMOS MEMS加速度计。  

矽创电子创新感测事业处处长翁焕翔指出,矽创电子凭藉过去IC设计的基础,花费约1年的时间开发出CMOS MEMS产品。
矽创电子创新感测事业处处长翁焕翔透露,矽创已与国内晶圆代工、封装及测试厂商结盟,预计于2011年发表首款CMOS MEMS产品--三轴加速度计,而因陀螺仪技术难度偏高,预定2012~2013年才会推出CMOS MEMS三轴陀螺仪。  

相较于传统双晶片MEMS方案,CMOS MEMS系将MEMS与特定应用积体电路(ASIC)整合在单一晶片,除可节省制造成本,且具备整合多样性功能的优势。翁焕翔强调,台湾晶片商凭藉 ASIC设计与制造成本长才,若台湾CMOS MEMS供应链顺利成形,将对国外整合元件制造商(IDM)构成不小的威胁。不过,现阶段台商须克服CMOS MEMS良率较低的难题。  

瞄准CMOS MEMS后势潜力,台湾排名前十大IC设计公司的矽创电子,藉由过去IC设计的丰富经验,以及成本和通路竞争力,积极抢进CMOS MEMS市场。翁焕翔认为,未来CMOS MEMS产业将由晶圆代工厂主导,但即便CMOS MEMS发展成功,基于传统MEMS成本虽高但良率也较高的考量,CMOS MEMS和传统MEMS市场主流之争仍难分高下。




    
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