浜松光电开发出采用MEMS技术形成的光电倍增管

浜松光电开发出了全球首款可采用MEMS技术制造的小型光电倍增管“μPMT”。利用蚀刻技术在硅基板上垂直刻出约900μm的沟槽，形成了电子倍增部（倍增电极）的精密构造（图1）注1）。与原来采用玻璃管的光电倍增管相比，体积减小至1/7，重量减小至1/9，实现了小型轻量化。

注1）：虽说采用了MEMS技术，但并不是像加速度传感器一样有机械可动的部分，而是采用了深槽蚀刻技术。

光电倍增管（PMT）为高灵敏度光传感器，原来通过手工作业组装数十个部件，然后在玻璃管内进行真空封装，因此小型化有一定法人极限，量产数量最多的品种每年也只有10万个。

图1：采用MEMS技术制造的光电倍增管
光垂直摄入光电面，随后在电子倍增部放大。外形尺寸为长13mm×宽10mm×厚2mm，重量为0.5g。


而采用此次的技术，由于利用MEMS技术加工硅基板后，只需用2张玻璃基板封装即可，部件点数很少，因此可实现与半导体产品相当的大批量生产注2）。原来的PMT单价为1万日元以上，但此次的μPMT“如果以量产为前提，价格可为数千日元”（浜松光电）。另外，工作原理与原来的玻璃管型PMT相同，倍增率可确保100万倍以上，性能方面也毫不比原产品逊色。

注2）：玻璃基板与硅基板采用阳极粘合技术粘接。

力争用于便携式医疗设备等

此次的μPMT是使1mm×4mm的光电面接收的信号倍增的单点式传感器。力争利用小型、轻量及价位低的优点，用于便携式医疗设备、保健设备及化学分析设备等。

比如，设想在医师门诊及住院患者病床边等处，对患者进行精密的血液检查，以缩短检查时间的用途等。此外，还可应用于遗传基因分析DNA微阵列，以及大气污染及水质等环境用小型检测设备等。

浜松光电今后还考虑采用二维图像传感器设计。另外，据该公司介绍，走的是与小型化相反的路线，光电面可扩大至晶圆大小，还可提高灵敏度。（记者：进藤 智则）