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[导读]新浪科技讯 10月15日消息,GlobalFoundries200mm晶圆事业部高级副总裁Raj-Kumar今天在上海透露,GlobalFoundries的MEMS晶圆量产能力目前在2000-3000片/月,而随着技术的改进和工艺装备的革新,未来2-3年月产能有望增

新浪科技讯 10月15日消息,GlobalFoundries200mm晶圆事业部高级副总裁Raj-Kumar今天在上海透露,GlobalFoundries的MEMS晶圆量产能力目前在2000-3000片/月,而随着技术的改进和工艺装备的革新,未来2-3年月产能有望增加2倍。

Raj-Kumar是今日在出席全球技术论坛(GTC)时向媒体做上述表示的。

他表示相比其他半导体技术,MEMS行业不是那么统一和规范,因此GlobalFoundries的一个目标就是努力推进MEMS的标准化。

他同时否认了GlobalFoundries将为MEMS新建生产线的说法,而是改进现有200mm晶圆生产线。“MEMS和200mm晶圆生产线在前端设备方面是一样的,但在后端需要加上相关专属设备,因此GlobalFoundries不会再新建生产线。”他表示。

微机电系统(MEMS)是半导体市场成场最快的区块之一,GlobalFoundries在MEMS方面的研发将着重于加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。

而在2天前(10月13日),GlobalFoundries宣布与SVTC技术公司结成战略联盟,SVTC将协助GlobalFoundries使用全系列的先进CMOS与MEMS设备,为顾客开发硅晶圆解决方案,同时为GlobalFoundries工程师提供MEMS技术研发支持及培训。

Raj-Kumar同时透露GlobalFoundries希望通过当下的系列措施,到2015年成为大型MEMS晶圆代工厂。(王霄 发自上海)

 



    
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