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科学家研制出可自我校准的微机电系统
时间：2010-08-16 17:23:00
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[导读]微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力，但目前它们也有一个难以克服的缺陷，那
就是计量结果不够精确，彼此之间存在偏差。据《大众科学》杂志网站8月10日报道，美国普渡大学的研究人员现已找到了一种方法，
微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力，但目前它们也有一个难以克服的缺陷，那
就是计量结果不够精确，彼此之间存在偏差。据《大众科学》杂志网站8月10日报道，美国普渡大学的研究人员现已找到了一种方法，可以让微机电系统进行自我
校准，这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门，可在医学、工程以及国防领域发挥作用。
微机电系统的尺寸不到十亿分之一米，在如此微小的尺度上制造这种设备难免会存在误差，要
保证生产出的微机电系统完全一致是不太可能的。既然没有可靠的方法来制造两个一模一样的微机电系统，就必须采用一些校准手段来尽量避免或者减小它们在计量
时彼此之间的误差。然而，要想在这种微观尺度上进行距离或者力的测量同样非常困难，因此，到目前为止，还没有确定一套标准来校准两个微机电系统的功能，以
使它们的性能和计量方式完全一样。
而普渡大学开发的这项被称为微电计量的新技术，可帮助工程师确定施加于微机电系统器件上
的力的大小。微电计量技术通过测量微机电系统的电子特性来定义其机械特性，因为在这样的微观尺度上，电子特性比物理力更易测量。一旦获得了微机电系统器件
的电容数据，研究人员就能精确计算出其形状、硬度和受力大小。
更准确地说，可自我校准的微机电系统意味着性能更优、更便宜的原子力显微镜，能够开展更有效的生物技术和纳米技术研究的高功率实验室工具，可嗅探出化学威胁的超灵敏传感器，甚至可用于追踪或确定犯罪嫌疑人的超灵敏“芯片鼻”。
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