[导读]法国研究机构CEA-Leti于2011年1月19日(当地时间)宣布,将在本月内启动专门用于三维积层技术研发和试制的300mm生产线。该机构表示,构建专门用于三维积层技术的研发生产线“在欧洲尚属首次”。
据悉,此次生产线
法国研究机构CEA-Leti于2011年1月19日(当地时间)宣布,将在本月内启动专门用于三维积层技术研发和试制的300mm生产线。该机构表示,构建专门用于三维积层技术的研发生产线“在欧洲尚属首次”。
据悉,此次生产线通过在现有CMOS专用300mm研发生产线中追加各种三维积层用装置来实现。追加装置包括专用的光刻装置、深铣削蚀刻装置、绝缘膜及金属成膜装置、湿式蚀刻装置以及封装装置等。有望开发出通过TSV(硅贯通孔)来三维连接不同种类芯片的技术等。通过构建此次生产线,CEA-Leti将可在200mm晶圆和300mm晶圆两方面开展三维积层技术的研发。(记者:木村 雅秀)
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