新一代物镜成就国产高速扫描电镜

电子显微镜从实验室走向工业应用，关键词是高速和好用。 首款智能化全自动高速成像扫描电子束显微镜在北京下线，不仅对科研， 而且对工程应用是利好消息，拓展了一条微观世界探索之路。

本文介绍国产高速扫描电镜（High Throughput SEM）是如何着眼于工业界应用，历经更新换代，满足使用要求。主要从功能性能、重点部件、自主设计、使用操作、制造维护等五方面考虑，着重解释首创的新一代物镜概念和结构，助力实现性能目标，提供整体解决方案和应用平台。

实验室比较注重看到实验的精细结果， 而工业规模生产更看重速度和效率。 所以，高通量可列为第一指标。速率以每秒成像Pixels数为标志。常规电镜大多是几十M的量级。 国产工业电镜成像速率突破100MPixels/s大关，刷新了该项技术性能指标。 对于SE和BSE双通道而言， 则达到200 MPixels/s。 想象一下，每秒采集200张高动态图像，好比你手上的相机魔幻变成摄像机。高通量工业电镜从只能观测静态图像的相机变成了捕捉动态变化的摄像机。

实现高通量的原因是多方面的。 高通量化大数据采集，源自独特的电子光学结构和系统设计，保证高速采集样品的电子信息，成像速度达到传统扫描电镜的近百倍。

高通量工业扫描电镜的外观如图一所示。

图一 高通量工业扫描电镜外观

图二表示工业扫描电镜的内部结构和主要部件示意图。为了实现高通量，从镜筒到样品台，关键部件全方位采用了新一代设计和材料。更新周期还在缩短。

图二 国产工业扫描电镜内部结构示意图

镜筒本身一反常规的“高大上”， 变成了“矮小细”。装在机柜里是因为无需旋钮，使用者伸出手指在触屏和电脑上直接操作。

如图所示，发射源是电镜之首。电子枪采用肖特基热场发射，束流大，定制的枪尖精细到纳米级，以提高发射效率。

新一代物镜在国产工业扫描电镜中施展威风。众所周知，电镜中物镜起着承上启下的重要作用。 但鲜为人知，从七十年代初至今四十余年间，高分辨大扫描场物镜系统经历了数代变革。之前的几代是： MOL/ SOL/ BOL – VOIL/ SOIL – SORIL。平移物镜MOL（moving objecTIve lens）和摇摆物镜SOL（swinging objecTIve lens）及弯曲轴物镜BOL(bent objecTIve lens）可以说是平行的三种理念，均属于VOL (variable axis objecTIve lens)， 然后在结构上发展到变轴浸没式物镜VOIL(variable objective immersion lens)，包含了MOIL和SOIL。在浸入物镜大量使用后，又衍生出了摆动减速浸入物镜SORIL （swing objective retarding immersion lens）的结构。 如今，高分辨率大扫描场物镜系统有着全新的设计思路，发展定格为新一代复合偏转采集物镜系统。

减速静电透镜辅助返回电子信号的采集，使更多的SE和BSE被收集，达到预期的高分辨率。因为对于非导体生物类样本，需要避免电荷在样本上的积累，不然会影响清晰度。 当观测生物类样品时，初始电子离开电子光学镜筒后，在物镜和样品之间减速，电子束处在低能状态，便容易消除电荷效应。

新一代复合偏转采集物镜系统集成了独特的信号采集方式和结构。创新的探测器成为关键器件。牵一发而动全身。从常规的闪烁体+ PMT更新换代到同轴半导体型探测器，配合增益放大电路，收集电子效率大为提高。

在大视场范围内的图像高分辨率，能满足材料类、生物类样品大面积观察需求。 经过理论上计算和实际的验证，扫描大面积样品时边缘像差小，依然能聚焦，从而扩大了可视范围。