MEMS气体传感器了解一下

山西太原的医用气体传感器为MEMS气体传感器。该MEMS气体传感器传感器的生产厂家为腾星行业龙头厂商。MEMS气体传感器与其它的传感器相比具有一定的优势。

MEMS气体传感器的优势在于： (1)微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器的敏感程度。 (2)硅基加工工艺，可兼容传统IC生产工艺：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨，同时可以很大程度上兼容硅基加工工艺。通常，在传感器的线性范围内，希望传感器的灵敏度越高越好。因为只有灵敏度高时，与被测量变化对应的输出信号的值才比较大，有利于信号处理。但要注意的是，传感器的灵敏度高，与被测量无关的外界噪声也容易混入，也会被放大系统放大，影响测量精度。因此，要求传感器本身应具有较高的信噪比，尽量减少从外界引入的于扰信号。传感器的灵敏度是有方向性的。当被测量是单向量，而且对其方向性要求较高，则应选择其它方向灵敏度小的传感器;如果被测量是多维向量，则要求传感器的交叉灵敏度越小越好。

气体传感器，随着人们对室内空气质量的关注，一些全新的名词孕育而生。例如空气传感器、空气质量传感器等。这些全新的名词更多的出现于民用端或商用端的需求中，而并非环保端或工业端。其实以专业的角度来看，并没有空气质量传感器这一说法。但从需求角度出发其却是合理的。顾名思义，想测空气质量所以才会想到有没有空气质量传感器。

气体传感器稳定性是指传感器在整个工作时间内基本响应的稳定性，取决于零点漂移和区间漂移。零点漂移是指在没有目标气体时，整个工作时间内传感器输出响应的变化。区间漂移是指传感器连续置于目标气体中的输出响应变化，表现为传感器输出信号在工作时间内的降低。理想情况下，一个传感器在连续工作条件下，每年零点漂移小于10。

传感器的外壳是由哪些材料制成的? 考虑到与内部电极系统的兼容性和应用的持续性要求，我们使用不同的塑料材料。通常使用的是ABS、聚碳酸酯纤维或聚丙烯。更详细信息可以从各传感器的数据表中找到。

现今传感器市场的技术可以做到对于单一的参数或个别几种可融合的参数制造出对应的传感器。但如上述如此多的参数想合成在一支传感器上显然是不可能的。因为根据制造传感器原理的不同，不同检测参数之间有着互相影响的问题，所以在这时就需要运营技术手段来解决。同时对于多种参数的检测需求，技术性的集成就成为一条出路。而民用端或商用端所需求的空气质量传感器可能终需要的则是集成多个传感器后的空气质量监测仪。