白光干涉仪可实现亚微米精度3D检测

白光干涉仪可应用于半导体、摄像头、线路板、显示面板等行业。在3D检测领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。在同等系统放大倍率下，其检测精度和重复精度都高于传统的检测方法。甚至在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，只有白光干涉仪能够达到检测的精度要求。

1、白光干涉检测原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束，一束光经被测表面反射，另外一束经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号。通过测量干涉条纹的变化，并结合自主研发的高效算法，可以实现亚微米级的表面三维形貌测量。

“相比较传统测量手段，更多优势显现”

应用实例：

5G高频电路板检测

精密零件检测

摄像头模组检测

高精度、大范围、高速度，分辨率优于0.1微米，重复精度优于0.5微米。

2、可测材料种类丰富，金属、陶瓷、玻璃、树脂、塑料。

“高频电路板测试3D图，树脂、铜不同材质只能颜色区分”

目前应用场景涵盖，PCB3D检测;集成电路3D检测;胶线3D检测;手机外壳检测;机械/玻璃/塑料表面缺陷检测。

PCB3D检测图

“照明区域均可以测量，针对不同类型的PCB板

3、电路板测量二维图

配套测量软件可实时读取测量值，标记特征点，识别各种缺陷，对加工质量进行严格把关。