这款6英寸MEMS传感器芯片正式投入运营

当今，随着物联网、大数据、人工智能等新一代高新技术的快速发展，我国的传统制造业取得了很大的发展。其中，MEMS半导体传感器芯片对于智能物联网时代的发展起到了必不可少的作用。

据麦姆斯咨询了解，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片，并为部分珠三角客户提供MEMS半导体芯片代工服务。该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地，推动国内、特别是粤港澳大湾区的MEMS半导体传感器高质量发展奠定了良好的基础。

奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片生产线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，配置湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及参观通道等。整个洁净车间安装了多套高性能风淋系统，对进入洁净间的员工或者货物进行彻底风淋除尘。

该生产线一期工程于2019年3月立项，2019年6月正式进入施工阶段。经过6个月的施工，生产线的基础设施已安装完成。2020年，多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入，生产线正式投入运营。

奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，生产设备约占整个投资规模的70%。一期工程已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。根据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线;2022年三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线;总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片，满足奥松电子自身需求及粤港澳大湾区各类MEMS半导体芯片的代工需求。

随着物联网时代的到来，珠三角经济区作为中国最重要的制造基地之一，一直走在时代的前列。《粤港澳大湾区发展规划纲要》政策落实后，广州作为广东省省会城市和经济中心、一带一路新亚欧大陆经济走廊主要节点城市和海上合作战略支点，优势地位不断得到提升。奥松电子立足广州，在MEMS半导体传感器领域打破了国外企业的垄断，实现国产替代进口，勇担历史使命，为粤港澳大湾区建设贡献自己的一份力量。