光刻机巨头ASML 亮相进博会，全方位展示光刻技术

据每日经济新闻报道，世界光刻机巨头ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV光刻机的企业，由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机，所以此次展示的是其DUV光刻机。据了解，该产品可生产7nm及以上制程芯片。

光刻机(Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

21ic家了解到，作为全球芯片作为全球芯片光刻技术的领导者，ASML(阿斯麦)以“光刻未来，携手同行”为主题亮相第三届进博会技术装备展区。

在此次展会上，ASML除了展示了其整体光刻解决方案，包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术，让边缘定位精度不断提高。同时也让现场观众近距离接触光刻机模型，同时，通过光刻小游戏，让大家更近距离体验光刻世界的奇妙，在趣味中体验“光的掌门人”的日常工作。