当前位置:首页 > 电源 > Advanced Energy
[导读]Advanced Energy 一直是工艺设备电源技术的领导者,这系列全新的远程等离子体源产品在原有的基础之上再将技术进一步提升,例如新产品可确保半导体工艺设备在多种不同流速的情况下仍能保持操作稳定,而生产力也有进一步的改善

北京,中国 - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc. 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案,这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 远程等离子体源 (RPS) 产品,其特点是适用于半导体芯片工艺的反应腔室等离子清洗系统。MAXstream系列产品有多个不同型号,操作范围非常宽广,其他优点包括电源准确度较高、优于同级产品的等离子喷射引燃能力、以及更高的稳定性,因此这是市场上最理想的远程等离子体源解决方案。

Advanced Energy 推出适用于工艺反应腔室清洗系统的MAXstream远程等离子体源产品系列

Advanced Energy 半导体产品副总裁兼总经理 Peter Gillespie 表示:「我们的客户曾向我们表示市场上欠缺一款高性能而又稳定可靠的RPS产品,希望 Advanced Energy 能够进军这个市场,满足业者的需求。我们顺应时势,实现他们的梦想。这系列全新的MAXstream产品不但为客户的工艺设备提供一个极具成本效益而又稳定可靠的RPS解决方案,而且还让 Advanced Energy 因应市场趋势,加快进军这个近年少有创新技术出现但年销售额约值1.5亿美元的RPS市场 1。至今为止,这系列产品在市场上很受欢迎,对我们来说这是一个很大的鼓舞。我们在今个月内会继续交货予多个OEM客户,预计会继续取得亮丽的成绩。」

MAXstream远比竞争对手的RPS解决方案优胜,因为这款新产品的双等离子体源引燃核心采用完善的设计,确保等离子引燃时保持优于同级竞争产品的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠,令整个操作能保持其稳定性,减少坏机情况出现。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年并证实有效的分离等离子体源物料和相关技术,确保可延长工艺反应腔室的寿命周期以及减少由此而产生的微粒。

Advanced Energy 的MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的RPS系统之中,以确保可与现有系统无缝衔接,方便换代更新。客户只要取出一向表现不太理想RPS,改用MAXstream便可提高工艺设备的生产力、性能和稳定性。他们也可获得 Advanced Energy 提供优于竞争对手的全球服务和支持。Advanced Energy 在世界各地设有十多间服务中心,为各地客户提供现场服务和应用技术支持。

MAXstream产品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多个不同型号,每分钟的气体流量分别为3、6、8、10和12公升(liter),让客户可以按照自己的工艺,选用一款价格符合预算而又能充分发挥系统性能的型号。MAXstream 300 适用于较低流量的工艺 (用于清洗的气体每分钟流量高达3公升),外型则比高流量的型号更为小巧。

Advanced Energy 远程等离子体源总经理 Shaun Wilson 表示:「几乎生产每一种半导体芯片所采用的等离子工艺都需要清洗反应腔室。我们今次推出MAXstream系列产品,为客户的工艺反应腔室清洗系统提供一个性能强劲、稳定可靠和具成本效益的解决方案。我们不但降低设备的坏机时间,而且还协助半导体业者满足数据经济圈的市场需求。」

如欲进一步查询有关产品的技术规格,可登入 Advanced Energy 公司网页查阅MAXstream的产品专页。

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

加利福尼亚州桑尼维尔,2024年3月29日–新思科技(Synopsys, Inc.,纳斯达克股票代码:SNPS)近日宣布完成对Intrinsic ID的收购,后者是用于系统级芯片(SoC)设计中物理不可克隆功能(PUF)...

关键字: 硅片 半导体 SoC

3月29日消息,市场研究机构Counterpoint Research发布的报告显示,预计今年高端手机(600-799美元)出货量将同比增长17%,而这主要是靠苹果和华为的拉动。

关键字: 华为 12nm EDA 半导体

在与Semicon China同期举办的2024慕尼黑上海光博会上,晶诺微(上海)科技有限公司(以下简称晶诺微)首度现身行业展会,将公司自主研发的光学量测设备和半导体量检测设备展示给专业参会者,且在现场展开深入地互动交流...

关键字: 半导体

随着信息技术的飞速发展,芯片作为现代电子设备的核心部件,其制作工艺流程的精密与复杂程度日益提高。芯片的制作,不仅仅是一系列技术操作的集合,更是一场探索微观世界的工艺之旅。本文将带领读者走进芯片制作的世界,揭示其大致工艺流...

关键字: 芯片 半导体

满足快速发展的半导体行业对高性能、效率和可持续性的综合需求。

关键字: 半导体

在今年的展会上,除了展出去年11月加入尼得科集团的车床厂商“TAKISAWA”的车床之外,还会为您展示更丰富的产品阵容“面向所有工业领域的尼得科的机床产品”。以OneNidec的方式,为汽车、机器人、半导体、能源、建筑机...

关键字: 机器人 半导体 能源

美光首个可持续发展卓越中心彰显了公司对中国运营及本地社区的不懈承诺

关键字: 可持续发展 DRAM 半导体

业内消息,日前美国半导体公司KLA(科磊)在一份文件中表示,决定在2024年底之前退出平板显示器(FPD)业务,上百名员工被解雇。但在2024年底停止生产后,将继续为其停产产品线的安装基础提供服务。

关键字: 半导体 裁员 科磊 KLA Orbotech 奥宝科技

业内消息报道,半导体材料市场信息咨询公司TECHCET 预测今年全球半导体材料市场将出现反弹。2023年整体半导体行业环境低迷,同比下降6%后,随着形势转好,2024年预计将增长近7%。

关键字: 半导体

本文中,小编将对半导体IDM予以介绍,如果你想对它的详细情况有所认识,或者想要增进对它的了解程度,不妨请看以下内容哦。

关键字: 半导体 IDM
关闭
关闭