Advanced Energy 推出适用于工艺反应腔室清洗系统的MAXstream远程等离子体源产品系列

北京，中国 - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc. 一直致力于开发各种先进的高精度电源转换、测量和控制系统等解决方案，这方面的技术更一直领先全球。该公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 远程等离子体源 (RPS) 产品，其特点是适用于半导体芯片工艺的反应腔室等离子清洗系统。MAXstream系列产品有多个不同型号，操作范围非常宽广，其他优点包括电源准确度较高、优于同级产品的等离子喷射引燃能力、以及更高的稳定性，因此这是市场上最理想的远程等离子体源解决方案。

Advanced Energy 半导体产品副总裁兼总经理 Peter Gillespie 表示：「我们的客户曾向我们表示市场上欠缺一款高性能而又稳定可靠的RPS产品，希望 Advanced Energy 能够进军这个市场，满足业者的需求。我们顺应时势，实现他们的梦想。这系列全新的MAXstream产品不但为客户的工艺设备提供一个极具成本效益而又稳定可靠的RPS解决方案，而且还让 Advanced Energy 因应市场趋势，加快进军这个近年少有创新技术出现但年销售额约值1.5亿美元的RPS市场 1。至今为止，这系列产品在市场上很受欢迎，对我们来说这是一个很大的鼓舞。我们在今个月内会继续交货予多个OEM客户，预计会继续取得亮丽的成绩。」

MAXstream远比竞争对手的RPS解决方案优胜，因为这款新产品的双等离子体源引燃核心采用完善的设计，确保等离子引燃时保持优于同级竞争产品的稳定性。由于每次分开出击的引燃非常稳定可靠，令整个操作能保持其稳定性，减少坏机情况出现。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年并证实有效的分离等离子体源物料和相关技术，确保可延长工艺反应腔室的寿命周期以及减少由此而产生的微粒。

Advanced Energy 的MAXstream RPS 产品可以轻易插入现有的RPS系统之中，以确保可与现有系统无缝衔接，方便换代更新。客户只要取出一向表现不太理想RPS，改用MAXstream便可提高工艺设备的生产力、性能和稳定性。他们也可获得 Advanced Energy 提供优于竞争对手的全球服务和支持。Advanced Energy 在世界各地设有十多间服务中心，为各地客户提供现场服务和应用技术支持。

MAXstream产品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多个不同型号，每分钟的气体流量分别为3、6、8、10和12公升(liter)，让客户可以按照自己的工艺，选用一款价格符合预算而又能充分发挥系统性能的型号。MAXstream 300 适用于较低流量的工艺 (用于清洗的气体每分钟流量高达3公升)，外型则比高流量的型号更为小巧。

Advanced Energy 远程等离子体源总经理 Shaun Wilson 表示：「几乎生产每一种半导体芯片所采用的等离子工艺都需要清洗反应腔室。我们今次推出MAXstream系列产品，为客户的工艺反应腔室清洗系统提供一个性能强劲、稳定可靠和具成本效益的解决方案。我们不但降低设备的坏机时间，而且还协助半导体业者满足数据经济圈的市场需求。」

如欲进一步查询有关产品的技术规格，可登入 Advanced Energy 公司网页查阅MAXstream的产品专页。