ASML回应中芯国际12亿美元订单：并无EUV

中芯国际在去年几经制裁，成为了行业瞩目焦点，而近期12亿美元的订单也成了行业人士茶余饭后的讨论。

事件起源于3月3日中芯国际的一则公告，该公告称公司就购买用于生产晶圆的ASML（阿斯麦）产品与阿斯麦集团签订购买单，根据ASML购买单购买的阿斯麦产品定价，ASML购买单的总代价为12亿美元（约合人民币78亿元）。

中芯国际早前于2018年5月向ASML订购最新型EUV光刻机，但恰逢禁令遭到了美方阻挠，ASML一直无法向其交付EUV光刻机。

而此前坊间传言称，中芯国际与美国沟通取得重大突破，已获美国设备厂商供应许可，14nm及以上（14nm及28nm等成熟工艺）的设备供应获得许可。

甚至还有媒体直言，“除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到ASML其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。”

由此，便引发业界人士猜测，中芯国际购买了7nm、14nm的EUV光刻机。但实际上，就本次交易而言与EUV光刻机并无关联。

经过一日的发酵，ASML发布公告对本次交易进行了澄清，ASML表示中芯国际已遵循香港上市规则披露与ASML的批量购买协议（VPA），这与DUV光刻技术的现有协议相关。协议已于2018年1月1日签订，最初将一直持续到2020年12月31日，并于2021年2月1日延长至2021年12月底。

换言之，就是中芯国际本次购买其实只与DUV光刻机有关，和EUV光刻机没有什么关系。

通过澄清来看，ASML的协议限制了条件是协议与DUV光刻机技术有关。所以说，除了EUV还包括DUV的说法从严谨程度来说就具有一定漏洞，因此这个谣言就不攻自破了。