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乐华 晶圆搬运设备获好评
时间：2010-09-09 06:50:00
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[导读]乐华科技（日本RORZE之台湾分公司）社长崎谷文雄、总经理佐佐木大辅亲临展览会场，解说主力机种RORZE 300mm Wafer Sorter RSC121，具高速度、省空间、低振动、低噪音之装置，可读取M12、T7、M1.15及正反两面之刻度，
乐华科技（日本RORZE之台湾分公司）社长崎谷文雄、总经理佐佐木大辅亲临展览会场，解说主力机种RORZE 300mm Wafer Sorter RSC121，具高速度、省空间、低振动、低噪音之装置，可读取M12、T7、M1.15及正反两面之刻度，且搭配光学及图像处理，可实现高识别率；使用中段差压版，可确保机台内部正压，并谋求搬送部附近的低发尘化。
RORZE 300mm Wafer Sorter RSC121采用单臂双Finger Robot，于各位置上可高速搬送，Side reach robot W/O linear track（补间型Robot 不需X-Table），Robot采用负压设计，洁净度可达Class 1。
RORZE为半导体晶圆搬送机大厂，晶圆相关搬运设备如Wafer Sorter之外，也拓展EFEM、Elevator、Wafer Bump Inspection Machine等设备，RORZE以「洁净度NO.1」在业界闻名。洽询电话：（03）577-6482，网址：www.rorze.com.tw。乐华科技展览位置：世贸1馆2412摊位。
RORZE 300mm Wafer Sorter RSC121采用单臂双Finger Robot，于各位置上可高速搬送，Side reach robot W/O linear track（补间型Robot 不需X-Table），Robot采用负压设计，洁净度可达Class 1。
RORZE为半导体晶圆搬送机大厂，晶圆相关搬运设备如Wafer Sorter之外，也拓展EFEM、Elevator、Wafer Bump Inspection Machine等设备，RORZE以「洁净度NO.1」在业界闻名。洽询电话：（03）577-6482，网址：www.rorze.com.tw。乐华科技展览位置：世贸1馆2412摊位。
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