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新规范适应技术进步需求

时间：2009-10-30 08:35:26

关键字： GB MDASH 集成电路制造自动化

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[导读]洁净技术是一门综合技术，其涉及的领域主要包括生产工艺、空气净化、洁净建筑以及生产中所需的物质纯化等技术，对于电子工业而言，还必须考虑生产车间的排风问题。我们编写国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB5

洁净技术是一门综合技术，其涉及的领域主要包括生产工艺、空气净化、洁净建筑以及生产中所需的物质纯化等技术，对于电子工业而言，还必须考虑生产车间的排风问题。我们编写国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)的主导思想就是要使这个规范适应综合技术发展的需要。

电子产品洁净厂房对空气洁净度和各类杂质的控制有严格的要求，生产环境控制就是对与产品生产过程相关的各类污染物的控制。以集成电路制造为例，集成电路制造是利用高精密设备，将物理、化学、电子、机械等技术融合应用于产品制造过程，为了获得高质量、高成品率，必须严格控制芯片缺陷。导致芯片缺陷的因素十分复杂，其污染源可能是来自空气中的粒子、加工过程中使用的各类工艺介质中的杂质、清洗用纯水中的杂质或工器具带来的杂质。以集成电路生产为代表的电子产品生产过程的连续性和自动化程度的不断提高以及高精密制造设备的日益广泛应用，使电子工业洁净厂房的形式、构造和整体建造成本都发生了极大的变化，电子工业洁净厂房采用多种使用功能的组合式建筑日益增多;电子产品生产工艺及其制造设备的集成化、过程控制自动化、安全设施的日益完善，大大提高了电子产品生产过程的稳定性、安全可靠程度。电子产品生产不仅对生产环境的空气洁净度有严格要求，而且还对电子产品与生产过程直接接触的各种高纯介质——— 高纯水、高纯气体、高纯化学品等的纯度杂质含量等有十分严格的要求;某些电子产品对振动、静电、电磁干扰、电力供应也有较为严格的要求。

基于电子工业洁净厂房的上述特点，2001年颁布实施的国家标准《洁净厂房设计规范》(GB50073)中的有关规定已不能满足需要，尤其是在涉及化学分子污染物的控制以及安全、消防等方面更是需要制定新的规范条文。由国家住房和城乡建设部和国家质量监督检验检疫总局联合发布，并从2009年7月1日开始实施的国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》(GB50472)，正是以前述的电子工业洁净厂房的特点和工程实践为依据，结合我国电子工业洁净厂房设计建造和运行的实际情况，认真总结多年来电子工业洁净厂房设计建造和运行方面的经验之后而制定的。