国产MEMS检波器研制成功

在国家科技部“863”项目“微机电系统”重大专项的支持下，中国科学院微系统所与南京石油物探研究所紧密合作，经过将近两年的努力，克服重重困难，研制成功以国产MEMS加速度计为核心的石油勘探地震检波器。试验人员把试制的MEMS检波器在东北敦化山区作了野外试验，试验与实际生产同步，生产用的检波器采用12只常规检波器串联提高信噪比，MEMS检波器为单点接收。这次试验数据经过简单带通滤波处理表明，MEMS检波器接收的单炮记录接近于传统检波器串接收的记录，并且MEMS检波器接收记录的同相轴分辨率比传统检波器串要高，同时这次试验是在实际生产的条件下完成的，在较差的环境中取得了较好的试验结果。目前，微系统所试制的MEMS检波器在前几次试验的基础上，改善了加速度计的检测电路，克服了加速度计自身干扰信号，改进了封装工艺，从而在性能上有了较大改善，在实用化方面取得了重要进展。基于MEMS加速度计的地震检波器在频带、动态范围和轴向抗干扰性等性能指标上优于传统检波器，经过进一步性能改进和提高后，完全有能力应用于石油勘探行业并逐步替代传统检波器，这对于提高微系统加工和封装平台的产业化能力、降低石油勘探成本和风险、提升石油勘探行业的技术水平具有重要的社会效益和经济效益。