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[导读]最近开发出高性能、低功耗、数字输出的 ADXRS450 iMEMS(R) 陀螺仪,专门用于恶劣环境中的角速率(旋转)检测,以满足不断提高的精度、稳定度和抗振动抗冲击需求。MEMS(微机电系统)运动传感器在工业自动化、医疗和仪

最近开发出高性能、低功耗、数字输出的 ADXRS450 iMEMS(R) 陀螺仪,专门用于恶劣环境中的角速率(旋转)检测,以满足不断提高的精度、稳定度和抗振动抗冲击需求。MEMS(微机电系统)运动传感器在工业自动化、医疗和仪器市场的应用得到不断发展。与设计用于消费类应用的运动传感器相比,这些市场的 MEMS 传感器需要提供更高得多的性能。ADXRS450 iMEMS(R) 陀螺仪是基于 ADI 公司前三代业界领先的 MEMS 陀螺仪开发的第四代器件,采用先进的差分四传感器设计,可在强烈冲击和振动状态下精确地工作。目前还没有其它 MEMS 陀螺仪能在这些恶劣条件下达到如此高的性能。这种 MEMS 陀螺仪具有鲁棒性能和仅 6mA 的低功耗特性,可有效地用于多种应用,如机器人、工业仪器、航空以及用于高速列车的平台稳定系统。    “我们的客户非常信赖 ADI 的 iMEMS 品牌,因为我们的运动检测产品具有很高的性能和可靠性,这些产品将创新的 MEMS 传感器设计和 ADI 公司领先的模拟信号调理电路有效地结合起来,实现了绝佳的传感检测解决方案。”ADI 公司 MEMS 与传感器技术部副总裁 Mark Martin 表示,“ADXRS450 iMEMS 陀螺仪是一款采用单个封装的完整角速率陀螺仪,是 ADI 公司新一代高性能 MEMS 陀螺仪中的首款器件,采用了创新的差分四传感器设计。”

这种新的四传感器设计可消除线性加速带来的影响,能使 ADXRS450工作在特别恶劣的环境中,比如存在冲击和振动、可导致普通陀螺仪测量误差的环境。ADXRS450是极其稳定、抗振动的 MEMS 陀螺仪,对线性加速度的敏感度指标只有0.03度/sec/g,加速校正仅为0.003度/sec/g平方,噪声速率密度指标低至0.020度/sec/rtHz,在典型工作条件下的功耗仅为 6mA。其它特性包括在扩展工业范围内的内部温度补偿和可选的陶瓷垂直安装封装,这种封装无需子板就能在单块 PCB 上独特地实现三轴检测。

Martin 补充道,“MEMS 陀螺仪一直以来是最难设计和制造的 MEMS 器件,特别是当许多新兴工业自动化和仪器仪表应用要求高性能和低功耗时。与市场上的其它高性能 MEMS 陀螺仪相比,新款 iMEMS 陀螺仪功耗仅为竞争性器件的十分之一,而且可以提供更高的稳定性和抗振性能。”

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