北大东莞光电研究院有望突破高质量GaN单晶衬底制备难题

据报道，北京大学东莞光电研究院现有在孵企业32家，2018年度在孵企业营业总收入12.78亿元。

光电研究院成立于2012年8月，由北京大学与东莞市人民政府共同组建，是广东省首批新型研发机构。研究院拥有半导体照明技术、激光显示技术等六大平台，建有广东省院士成果转化基地、博士后创新实践基地、博士工作站。

目前，北大光电院依托北京大学物理学院及宽禁带半导体研究中心的技术及人才优势，围绕第三代宽禁带半导体材料与器件未来发展的技术及产业化方面展开研究，特别在氮化镓GaN单晶衬底的研究方面独树一帜。

研究院拥有用于GaN材料生长的钠流法晶体生长反应室，氨热法晶体生长反应室、金属有机物气相沉积（MOCVD）及氢化物气相外延（HVPE）等设备，几种技术手段交叉综合运用，有望突破高质量GaN单晶衬底制备这一世界性难题。

研究院目前承担包括GaN单晶衬底产业化项目、六英寸硅基GaN HEMT外延材料制备项目、钙钛矿太阳能电池及金刚石外延项目等30余项国家、省、市系列重大科研和产业化任务，今年将启动广东省重大项目“GaN基THz器件研制及其在卫星遥感中的应用研究”。

东莞市中图半导体科技有限公司是光电研究院孵化的企业之一，基于项目图形化蓝宝石衬底方面的研究成果，中图半导体成功的实现了大规模产业化推广应用。据悉，目前公司PSS年产能超过4500万片（折合成2英寸PSS），成为全球规模最大的PSS制造商。

此外，中图半导体PSS产品进入韩国首尔半导体等国际知名LED外延芯片企业供应链，产品用户已发展到包括海外名牌企业和国内多家上市公司在内的国内外40余家芯片制造企业。

今后，光电研究院将立足于第三代半导体产业，聚焦以第三代半导体材料为代表的新兴材料，坚持创新驱动发展战略，发展核心元器件。