国产掩膜领域领头羊实现250nm制程节点掩膜版量产

据业内信息，昨天路维光电调研信息显示已经实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产，路维光电是国产掩膜版行业的领头羊，是目前国内唯一可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业。

路维光电的全称是深圳市路维光电股份有限公司，是总部在深圳市南山科技园的一家高科技技术密集型国家级高新技术企业，主要业务是各类掩膜产品的研发生产，在中国掩膜版行业拥有多年的技术与经验，是国内唯一一家可覆盖G2.5-G11全世代产线的本土掩膜版企业。

掩膜版产品主要用于平板显示、半导体、触控和电路板等行业，是下游微电子制造过程中转移图形的基准和蓝本，目前实现了250nm制程节点半导体掩膜版量产，并掌握了180nm/150nm节点半导体掩版制造核心技术，满足先进半导体芯片封装和器件等应用需求。

其主要的客户有通富微电、士兰微、晶方科技、华天科技、三安光电、光迅科技等公司目前引以为傲的G11掩膜版产品相关技术指标已达国际先进水平，CD精度可控制在0.1µm以内，总长及位置精度可控制在0.5µm以内。

根据相关的资料显示，路维光电截至目前已经申请的专利已经超过110件，其中占比超过三成的发明专利近40件，其专利的主要方向在掩膜版、涂胶机、光学膜、光刻胶等领域。