当前位置:首页 > 通信技术 > 通信先锋
[导读]10月14日消息,光刻机大厂佳能(Canon)公司近日通过新闻稿宣布,其已经开始销售基于“纳米印刷”(Nanoprinted lithography)技术的芯片生产设备 FPA-1200NZ2C。佳能表示,该设备采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造5nm芯片。

10月14日消息,光刻机大厂佳能(Canon)公司近日通过新闻稿宣布,其已经开始销售基于“纳米印刷”(Nanoprinted lithography)技术的芯片生产设备 FPA-1200NZ2C。佳能表示,该设备采用不同于复杂光刻技术的方案,可以制造5nm芯片。

半导体制程技术进入5nm节点之后,EUV光刻机已经成为了不可或缺的关键设备。但是,因为EUV光刻机造价高昂,每台价格超过1亿美元,而且EUV光刻机仅荷兰ASML一家产生能够供应,且产能有限,这使得芯片的生产成本大幅升高。

为此,从2017 年开始,半导体设备厂佳能就与存储芯片大厂铠侠,以及光罩等半导体零组件制造商大日本印刷株式会社(DNP)合作,在日本三重县四日市的铠侠工厂内研发基于纳米压印(NIL) 的量产技术,可以不使用EUV光刻机,就能使制程技术推进到5nm。

佳能表示,这套生产设备的工作原理和行业领导者 ASML 的光刻机不同,其并不利用光学图像投影的原理将集成电路的微观结构转移到硅晶圆上,而是更类似于印刷技术,直接通过压印形成图案。

相较于目前已商用化的EUV光刻技术,铠侠在2021年就曾表示,NIL 技术可大幅减少耗能,并降低设备成本。原因在于NIL 技术的微影制程较为单纯,耗电量可压低至EUV 技术的10%,并让设备投资降低至仅有EUV 设备的40%。目前,EUV光刻机只有荷兰ASML一家能够生产供应,其不但价格高,而且需要许多检测设备的配合。

不过,虽然NIL 技术有许多的优点,但现阶段在导入量产上仍有不少问题有待解决,其中包括更容易因空气中的细微尘埃的影响而形成瑕疵。

对铠侠来说,NAND 零组件因为采取3D 立体堆叠结构,更容易适应NIL技术制程。铠侠当时就表示,当前已解决NIL 的基本技术问题,正在进行量产技术的推进工作,希望能较其他竞争对手率先引入到NAND 生产当中。而一旦铠侠能成功率先引入NIL 技术并实现量产,有望弥补在设备投资竞赛中的不利局面,又能符合减少碳排放的需求。

根据DNP 的说法,NIL 量产技术电路微缩程度可达5nm节点,而DNP 从2021 年春天开始,就已经在根据设备的规格值进行内部的模拟仿真当中。而对于这样的技术进步,DNP 也透露,从半导体制造商对NIL 量产技术询问度的增加,显示不少厂商对NIL 技术寄予厚望。

但是,铠侠在对NIL技术进行测试之后,遭到了潜在客户提出的投诉,认为产品缺陷率较高,最后并未实际应用。

作为关键的设备提供商,佳能在推动NIL技术量产NAND的同时,也致力于将NIL 量产技术广泛的应用于制造DRAM 及PC 用的CPU 等逻辑芯片的设备上,以在未来供应多的半导体制造商,也希望能应用于手机应用处理器等最先进制程上。

此次佳能发布的这套设备可以应用于最小14平方毫米的硅晶圆,从而可以生产相当于5nm工艺的芯片。

佳能表示会继续改进和发展这套系统,未来有望用于生产 2nm 芯片。

本站声明: 本文章由作者或相关机构授权发布,目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点,本站亦不保证或承诺内容真实性等。需要转载请联系该专栏作者,如若文章内容侵犯您的权益,请及时联系本站删除。
换一批
延伸阅读

应用材料公司实现营收67.1亿美元。基于GAAP(一般公认会计原则),公司毛利率为47.8%,营业利润为19.7亿美元,占净销售额的29.3%,每股盈余(EPS)为2.41美元。

关键字: 人工智能 物联网 半导体

【2024年2月19日,德国慕尼黑讯】英飞凌科技股份公司(FSE代码:IFX / OTCQX代码:IFNNY)旗下公司Imagimob对其Imagimob Studio做出更新。用户现在可以将他们的机器学习(ML)建模流...

关键字: 机器学习 半导体 神经网络模型

2月4日消息,据市场研究机构Counterpoint Research发布的最新报告显示,2023年全球智能手机市场收入约4100亿美元(约合29489亿元人民币),苹果独占了其中的1/2。

关键字: 苹果 A17 台积电 3nm

瑞森半导体总经理新年致辞!将团结力量,攻坚克难,迈出坚定的步伐,实现新跨越,新突破!

关键字: 半导体

SEMulator3D 工艺建模在开发早期识别工艺和设计问题,减少了开发延迟、晶圆制造成本和上市时间

关键字: 半导体 存储 NAND

是德科技(Keysight Technologies, Inc.)推出 InfiniiMax 4 系列高带宽示波器探头,将其高频探头产品的带宽扩展到 52 GHz。InfiniiMax 4 系列采用了工作频率超过 50...

关键字: 示波器 探头 半导体

业内消息,本周三星电子发布了其各业务部门的整体绩效激励计划(OPI),根据上一年度各部门绩效和20%的超额利润,提供每年最高可达年薪50%的奖金。然而,由于半导体业务部门的业绩疲软造成了亏损,三星决定不向其涵盖半导体业务...

关键字: 三星 半导体

1月29日,证监会通报了*ST左江财务造假案阶段性调查进展情况。经初步查明,*ST左江2023年披露的财务信息严重不实,涉嫌重大财务造假。该案目前正在调查过程中,证监会将尽快查明违法事实,依法严肃处理。

关键字: 左江科技 芯片 半导体

1月31日消息,据国外媒体报道称,美国知名半导体大厂泰瑞达去年从中国撤出了价值大约10亿美元的制造业务,而这对他们来说是一个艰难的决定。

关键字: 半导体 传感器 人工智能 电动汽车

1月31日消息,今天,三星电子公布了2023年全年和第四季度的财报业绩,全年营业利润为6.567万亿韩元(约合354亿元人民币),同比暴跌了84.86%创下2008年金融危机以来史低。

关键字: 三星 半导体 芯片
关闭