采用2602型源表进行激光二极管模组和VCSEL直流生产测试

激光二极管（Laser diode，LD）和垂直腔面发射激光器（Vertical Cavity Surface Emitting Laser，VCSEL）在光通信、光谱学和其他许多重要应用中是两种主要的元器件。随着对上述应用的需求的增长，对这两类基本元件的需求也随之增长，这就要求人们更加注重于开发精确且成本经济性好的生产测试策略。

典型的激光二极管模组由一个激光二极管和背光探测二极管组成。带温控的激光二极管模组还可以包括一个半导体制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一个热敏电阻以便对激光二极管工作温度进行精确调节，如图1所示。（另外，在高速激光二极管模组中还包括一个集成的调制器芯片，未在图1中示出）。

图1. 典型激光二极管模组

图2. 简化的垂直腔面发射激光器结构（来源：Kartalopoulos）

相比于标准的激光二极管，垂直腔面发射激光器VCSEL具有更为复杂的半导体结构，但其封装结构一般更为简单。典型VCSEL结构的剖面图如图2所示。不同于边缘发射激光二极管，VCSEL可实现晶圆级测试，这一特点同时为VCSEL的测试提供了机遇和挑战，在下面部分将对其进行探讨。

需要记住的是，无论这两种器件中的哪一种，都需要多步工序完成制造。制造中的每一个工艺步骤本质上关乎器件价值的增长，这决定了人们要在执行下一步组装工艺之前进行元器件测试。例如，由于背光探测二极管失效导致整个激光二极管模组报废的成本，要远高于在组装前对光电二极管进行完全测试的成本。快速灵活的测试方案对于减小测试的成本至关重要。

在本文中，详细介绍了几种可以满足现今生产环境中高通量要求的、高成本效益的直流测试系统。