利用大功率数字源表构建多源测量单元（SMU）系统-连载七

一旦系统建立完毕，就要对其功能进行测试，并优化仪器建立，以获得最佳测量。

对于开启状态特性分析

在当今进行的大部分开启状态特性分析中，为了实现最小热量，都对器件施加脉冲信号。此外，许多功率半导体器件的最终应用也都是在脉冲条件下工作的。让源测量单元（SMU）的输出脉冲通过测试系统，并捕获器件端口响应，使测试系统具备合格的脉冲信号能力。吉时利2651A型大功率系统数字源表内含高速模数转换器(ADC)，可以同时对电流波形和电压波形进行数字化。这些模数转换器(ADC)对确定系统脉冲性能非常有益。如果脉冲形状出现异常，要检查电缆，确保引线电感最小化。尽可能使用吉时利公司提供的低阻抗同轴电缆，同时要使其他引线的感应环路面积最小。

对于关闭状态特性分析

了解系统的源和测量建立时间。进行器件关闭状态测量时通常使用高压源，其中电流较低，器件处于高阻抗状态。不过，可能存在无法避免的系统电容，而且器件本身也有一定电容。功率半导体晶体管输出电容一般在100pF以上。在关闭状态，器件电阻可能达到1GΩ以上，使得单一RC时间常数为100毫秒或更长。注意图1中充电电容器的电压时间曲线图。为了生成设定的读数，必须等待至少4～6个时间常数(4个时间常数 = 99%)的时间，这可能意味着需要将近1秒钟的建立时间。在估算生产吞吐量或长时间测试（如器件可靠性测试）所需时间时，要考虑这个建立时间。

图 1 100pF电容器充电的电压时间曲线。读数设置为时间常数的4～6倍。T = RC时间常数。

如果使用同轴连接取代三轴连接，要清楚：为了获得精确和可重复的低电流测量，还需要额外的建立时间。除了器件的RC，现在建立时间还包括电缆以及测试台或夹具的RC时间常数。通过在测试系统输入端施加电压阶跃，并测试输出端的电流随时间延迟，就可以分析整个建立时间。吉时利2657A型或2651A型数字源表采用最快的模数转换器(ADC)，为用户提供迅速而简易的获得建立时间信息的方法。器件测试时，通过观察电流下降至低于器件预期本底噪声的时间，来选择测量延迟。