Plessey购买GEMINI晶圆键合系统 将扩大MicroLED制造

据悉，英国光电子技术解决方案的领先开发商Plessey Semiconductor日前表示，已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG购买了GEMINI晶圆键合系统。

该公司计划使用该系统扩大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示，GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey位于英国普利茅斯的制造工厂展开粘合和校准的工作。与此同时，该系统还可将其GaN-on-Si MicroLED阵列与晶圆级背板紧密结合，具有极小像素尺寸所需的高对准精度。

EVG表示，其获得专利的SmartView ® NT自动键合对准系统技术可实现晶圆的正面对准，具有极高的精度。

此外，其GEMINI自动化生产晶圆键合系统实现了最高水平的自动化和流程集成。该全自动平台可实现晶圆到晶圆对准以及提供高达300mm的晶圆键合工艺，适用于批量生产。