物联网、消费电子与汽车智能化,MEMS惯性传感器正经历从分立式向高度集成化、微型化的深刻变革。三轴加速度计与陀螺仪作为运动感知的核心器件,其集成封装与抗振性能直接决定终端设备的可靠性、精度与使用寿命。本文从技术挑战、设计方法与工程实践三个维度,系统阐述MEMS惯性传感器的小型化实现路径。
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