MEMS传感器是“天琴一号”关键技术之一

 位于无锡高新区的智驰华芯(无锡)传感科技有限公司收到中国航天科技集团第五研究院的“新年贺卡”：感谢智驰华芯配合该所在“天琴一号”卫星相关单机研制过程中做出突出贡献。“天琴计划”由三颗完全相同的卫星构成，每颗卫星都在以地球为中心、半径约10万公里的轨道上运行。三颗卫星围绕地球构成等边三角形编队，犹如在太空中架了一把竖琴，宇宙中的引力波传过来，则会拨动“琴弦”。通过高精度的激光干涉测量等技术测得三颗卫星的距离和位置变化，就能获取该引力波数据，了解其背后的天文事件。

这是一次尝试，也是一次突破。“‘天琴一号’上天前，我们心情十分忐忑：自主研发的MEMS传感器能否扛住火箭发射时的巨大震动、能否在极端环境下正常运转，每一个细节都经过再三推敲;成功发射后，心里一块石头才落了地。”胡国俊表示。

智驰华芯这次研制的MEMS传感器是“天琴一号”六大核心关键技术之一，这一技术不仅助力“天琴”上天，还可广泛应用于医疗、化工等民用领域。除此之外，该公司主要产品覆盖工业毫米波雷达、机油/汽油压力传感器和MEMS超声波传感器等多项技术领域，部分技术国内领先、世界先进。

2018年，这项“国家任务”核心器件关键技术研究落到智驰华芯(无锡)传感科技身上。“国外高端传感器成本高、不外销，但‘天琴一号’必须借此东风上天!”智驰华芯董事长、总经理胡国俊博士表示，航天五院在全国范围遴选有能力进行高端传感器研发、生产的供应商时，通过论文、专利和实地考察进行综合筛选，智驰华芯最终被选中。

“卫星空间定位，之前靠机械传感器，精度为5%;改用MEMS传感器后，精度为1%。”在采访中，胡国俊反复强调“进口替代”、“自主研发”两个词，也正是基于此，这家没有“保密资质”的无锡企业，凭借在物联网高端应用研发领域的实力，通过“例外放行”拿下“上天”第一单。无锡企业研发的MEMS传感器使卫星空间控制精度由机械式传感器的5%提升到MEMS传感器的1%，具有标杆意义。