优贝克线型蒸镀源 提升AMOLED材料利用率20%

主动式矩阵有机发光二极体(AMOLED)线型蒸镀源可有效提升材料利用率。为降低AMOLED材料损耗量，具备线型蒸镀源技术的镀膜设备利用多点镀膜原理不仅可提高材料利用率，亦可使AMOLED面板上的发光材料更为均匀，以达高饱和度色彩之效。

优贝克(Ulvac)营业经理黄圣棕表示，提升AMOLED发光材料的使用效率才是减轻制造成本的关键，而采用线型蒸镀源技术的镀膜设备则可大幅提升材料使用率。

优贝克营业经理黄圣棕表示，由于AMOLED面板必须藉由蒸镀技术均匀涂布发光材料，才可使产品发挥出高饱和度、广视角以及高解析度等优势特性，因此，镀膜完成度较高的设备将是面板厂优先采购的因素之一。

黄圣棕进一步指出，过往传统的镀膜设备大多是采用单点蒸镀源技术，其材料利用率仅5%，换言之，100公克的有机发光材料进入使用单点蒸镀源技术的设备后，将只有5公克可真正被应用到AMOLED面板中，而剩下的95%材料则在制程中被浪费掉，对面板厂而言无疑是增加成本。

为解决材料利用率过低的问题，优贝克新型镀膜设备--ZELDA采用线型蒸镀源技术，可将材料利用率大幅提升至20%，并可均匀地将有机发光材料镀在AMOLED面板上，提升面板厂前段制程的良率。

除线型蒸镀源外，ZELDA更可同时作为面板厂进行试产与量产之用，可对应2～3.5代线各种基板尺寸，为客户提供更高的产能利用弹性。黄圣棕补充，由于AMOLED量产良率至少要达75%才有获利的空间，因此，面板厂若使用可同时兼具试产与量产能力的设备，将可大幅减少设备投资成本。

另一方面，目前AMOLED蒸镀设备亦分为枚叶式与In-line两种，设备供应商将依照客户量产能力与需求提供不同选项产品。黄圣棕分析，枚叶式由于真空腔各自独立，面板在镀膜时须以机器手臂夹取，导致传动速度较慢，所以产能较低，但通常良率较高；In-line则是将真空腔串联在一起，面板在镀膜的过程中毋须经过机器手臂传动，产能较高且省时，但缺点则是良率较差。

然而，无论是采用何种方式生产AMOLED面板，最重要的还是面板厂本身对整体流程的掌握度与经验。黄圣棕认为，影响AMOLED面板良率的因素相当多，除前段的镀膜外，后段封装过程亦相当重要，因此生产经验及对供应商的掌控度要够高，才有机会进一步提升良率。