太阳能电池多层膜检测难题得到解决

自2011以来，行业持续低迷，很多光伏企业将主要精力都放在了提升产品效率，以便使自身更具竞争力。

在提升效率过程中，之于每个工艺的控制就显得格外重要。例如，对于晶体硅电池的核心工艺的PECVD，为了既获得良好的钝化又能有更低的反射，很多厂家都推出了双层氮化硅结构;再如，如何严格监控清洗完成后自然氧化层的状态;又如，许多公司工艺部门都希望获得全波段的NK值以及精确的膜厚等等。

另外，许多著名PECVD厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式PECVD厂商Centrotherm就推出了Centaurus技术，平板式PECVD厂商Roth&Rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构，他们也无一例外地采用了多层膜结构。

全光谱椭偏仪自半导体时代以来，一直在各行业普遍运用。因为它具有各方面无可比拟的优势，几乎能为任何应用提供出色的测量精度。但晶硅电池不同于LCD、LED、半导体等其它行业，晶硅电池的衬底需要经过制绒以提高光能的吸收，但是，无论是多晶酸制绒形成的凹坑，还是单晶碱制绒形成的金字塔，其粒子线度都是在微米级别，对入射光具有米氏散射效应，一方面大大削弱了信噪比，另一方面又产生了退偏影响。这两方面的问题一直阻碍着全光谱椭偏仪在晶体硅电池的运用。系科光电科技(上海)有限公司，(简称系科仪器)在上海SNEC展会上成功展出的RISE型光谱椭偏仪，就成功地解决了太阳能电池检测这两方面的问题。

RISE(RotaingIncidenceAngleSpectroscopicEllipsometer)是系科仪器的可变入射角度型全光谱椭偏仪，具有卓越的整体设计，可在可见光及近红外波段(其余波段可选)快速采集数据，进行膜厚、折射率、消光系数等光学参量的分析。同时还能够分析并不理想的样品，如：具有米氏散射或瑞利散射的绒面衬底、具有背板反射的透明衬底、膜层厚度极其薄以及极其厚、非均匀样品等等。无论是吸收还是透明衬底，双层膜还是多层膜分析，皆可一键完成。

RISE同时还适用于多种领域的薄膜测量：晶硅太阳能电池、薄膜太阳能电池、半导体、微电子、触摸屏及LED等。