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[导读]好德科技代理美国n&k量测机台,推出n&k全新系列产品n&k Olympian OCD全自动量测系统,可应用于半导体、微机电、3D IC产业之CD、深度、膜厚、洞孔底部残留等量测应用,并在本届半导体展中展出。 好德科技先进科

好德科技代理美国n&k量测机台,推出n&k全新系列产品n&k Olympian OCD全自动量测系统,可应用于半导体微机电、3D IC产业之CD、深度、膜厚、洞孔底部残留等量测应用,并在本届半导体展中展出。
好德科技先进科技事业处处长江伟纶表示,n&k Olympian的全新光学架构,其光源之波长范为可从190nm~15,200nm,含括短波长UV光源至IR长波长光源,并搭配n&k创办人Dr. Forouhi & Dr. Bloomer所共同创立的F-B方程式,其膜厚之量测范围可从数个A~数百个um,深度部分可量测达数百个um深,其应用产业可从半导体前段至后段量测 制程,微机电产业,3D IC等。n&k OCD非破坏式量测设备其主要的优点在于对晶圆厂制程的掌控,并用In line的方式做在线及时量测,避免使用相当耗时与耗成本的人工切片,让前后段晶圆厂省下极为可观的成本,并协助将制程优化。



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