450mm联盟

时间：2012-12-11 12:49:04

关键字： ASML 三星电子台积电英特尔

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[导读]为加速发展450mm(18寸)晶圆世代到来，全球五大半导体业者IBM、英特尔(Intel)、三星电子(SamsungElectronics)、台积电和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm联盟(Global450Consortium)，并于美国纽约州Albany设

为加速发展450mm(18寸)晶圆世代到来，全球五大半导体业者IBM、英特尔(Intel)、三星电子(SamsungElectronics)、台积电和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm联盟(Global450Consortium)，并于美国纽约州Albany设立450mm晶圆技术研发中心。

450mm联盟成立后，18寸晶圆世代的技术和机台设备有不少方针已开始确立，是半导体产业迈入18寸晶圆世代的重要里程碑，另一个重要进展是为了打破微影设备生产技术瓶颈，微影设备大厂ASML发起「客户联合投资专案」(CustomerCo-InvestmentProgram)，由英特尔、台积电和三星电子共同投资。

此研发计划一方面是支持ASML开发EUV微影技术，提高既有光学微影工具的效能，另一方面也是加速18寸晶圆制造技术的发展。