生医电子渐夯MEMS厂布局微流体代工商机

微机电系统(MEMS)微流体(Microfluidics)晶片行情看涨。MEMS微流体逐渐在生物医疗市场崭露锋芒，瞄准此一商机，MEMS设计代工厂--IMT(Innovative Micro Technology)正利用专利三维(3D)MEMS晶圆制程，扩大整合微流体、微阀门(Microvalve )及光学元件，期打造客制化、高速与高精准细胞分选(Cell Sorting)方案，吸引医疗设备业者青睐。

IMT业务发展副总裁Craig T. Trautman认为，MEMS晶圆代工潜力巨大，特别是工业、医疗等高阶应用市场，更将涌现庞大客制化MEMS元件设计需求。

IMT业务发展副总裁Craig T. Trautman表示，近期IMT量产22奈米(nm)立体堆叠MEMS微流体晶片，已获Owl Biomedical新一代细胞分选系统--Nanosorter采纳，为生物医疗产业带来重大技术突破。该晶片基于IMT独家矽穿孔(TSV)制程，可堆叠四到五片22奈米MEMS晶圆，有利于整合微流体、微型阀、光学及电磁致动器(Electromagnetic Actuation)等元件，进而提高晶片工作效率与精准度，并大幅缩减占位空间。

据悉，IMT与Owl Biomedical合作开发的高速、可抛弃式(Disposable)细胞分选系统，提高初始细胞存活(Cell Viability)率至97%、检测吞吐量则高达每小时两亿个细胞；从而快速辨别细胞好坏，用于监控人体状态、改善癌症治疗方法及个人化药物调配等医疗行为。Trautman强调，此方案完全发挥MEMS微流体的应用价值，将快速打开生物医疗市场，并引爆一波高品质、客制化MEMS元件设计与代工商机。

除生物医疗应用外，由于IMT拥有上百项MEMS制造专利，故也为射频(RF)、光网路、导航、能源及测试领域提供完整MEMS设计及代工服务。旗下产品阵容涵盖MEMS微流体、微型阀、微帮浦(Micropump)、光学、磁力计、加速度计、陀螺仪、晶圆级封装(WLP)与矽穿孔制程等；还可提供MEMS矽智财( IP)整合平台设计构思，协助客户催生客制化晶片解决方案。

Trautman不讳言，尽管多半MEMS市场仍掌握在整合元件制造商(IDM)手中，然而，随着MEMS技术在行动、工业级医疗应用领域大放异彩，晶片代工需求亦跟着水涨船高，将逐渐让MEMS产业跳脱IDM统包供应模式。也因此，IMT遂致力推广高价值MEMS生产业务，现同一时间皆有35～40个代工订单进行中，产能利用率也几近满载，高达99%；并已开始部署MEMS微流体IP授权与设计服务攻势，加快脚步圈地生物医疗市场。

看准MEMS出货量将逐年递增，且产品研发时程也将更加紧缩，Trautman透露，IMT已投入MEMS与互补式金属氧化物半导体(CMOS)晶圆堆叠技术研发，未来可望透过打线接合( Wire Bonding)方式，制作更高整合度的MEMS感测器，刺激代工市场需求往上冲刺。