爱德万展示与惠瑞捷的合作成果及前工序测试仪

“T2000” （点击放大）

“V93000 Smart Scale” （点击放大）

“E3630 Multi Vision Metrology SEM” （点击放大）
日本爱德万测试将在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕张Messe会展中心）上，展示与新加坡惠瑞捷（Verigy）共同开发的成果。爱德万表示，将在此次Semicon Japan上以“From fusion comes power.”为主题，介绍通过与惠瑞捷合并得到进一步扩充的多种测试解决方案。这是该公司首次设置前工序产品展位，将对扫描型电子显微镜（SEM）和电子束（EB）曝光设备等进行展板展示。主要展示产品如下。

首先将展示“T2000 Enhanced Performance Package（EPP）”。“T2000”是一款通过组合使用模块，可提供符合目的的测试解决方案的模块型测试仪。爱德万将面向该T2000展示新型EPP和模块群。利用这些产品，能支持多种测试并行运行的并行测试等，还可削减SoC（System on a Chip）的开发时间和量产成本。具体包括：可直接在测试仪上运行动作描述级器件逻辑验证程序的“Functional Test Abstraction（FTA）”，以及多名用户可同时使用测试仪的“多区段作业（multi-session）”等。

其次展示的是惠瑞捷的可伸缩测试仪“V93000 Smart Scale”。该测试仪通过采用配置在各引脚上的相位同步电路，可设定各引脚分别独立的数据速率。通过该功能，可实现接近器件实际使用环境的“System-Like Stress Test”。另外，为灵活应对量产规模的变化，该测试仪备有即使尺寸不同也可相互兼容的4种测试头。此次，爱德万将展示Smart Scale中最小构成的“A-Class”。

最后展示的是“E3630 Multi Vision Metrology SEM”。该SEM配备有多通道电子检测器，除了可使用传统的EB技术进行CD（critical dimension：线宽）测长之外，还可进行1Xnm工艺管理等所需的侧壁角度（Side Wall Angle，SWA）测量等三维测量。（记者：长广 恭明，Tech-On！）