普利司通试制出功率元件用5英寸SiC基板

试制的5英寸SiC基板（点击放大）
普利司通试制出了SiC功率半导体元件制造（以下称功率元件）用5英寸口径SiC基板。该公司此前已在投产功率元件用2～4英寸口径SiC基板。据称此次试制的5英寸品具有与传统产品“相同水平的高结晶品质”。通过采用新型模拟技术与温度控制技术，成功实现了品质的提高及口径的扩大。

普利司通目前还没有打算投产5英寸SiC基板。该公司提出的目标是在2012年下半年（7～12月）开始量产口径更大的6英寸产品。

另外，普利司通还打算在2011年9月11日起于美国举行的SiC相关国际学会“ICSCRM（International Conference on Silicon Carbide and Related Materials）2011）”上展出此次试制的5英寸产品。（记者：根津 祯）