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[导读]今年国际半导体展(SEMICON Taiwan)最大的特色,就是国际大厂联手加速18寸晶圆开发进程,并共同合作加速3D IC的量产,先进设备业者SSEC(Solid State Equipment Corporation)不仅已开始提供18寸晶圆制程研发设备,

今年国际半导体展(SEMICON Taiwan)最大的特色,就是国际大厂联手加速18寸晶圆开发进程,并共同合作加速3D IC的量产,先进设备业者SSEC(Solid State Equipment Corporation)不仅已开始提供18寸晶圆制程研发设备,直通矽晶穿孔(TSV)先进封装设备也已交货,并已获得日月光、矽品、力成等封测厂采用。

SSEC全球营运总监John Voltz表示,450mm(18寸)晶圆已是未来市场趋势,包括台积电、英特尔、三星等国际半导体大厂,均已投入18寸晶圆设备的开发,为了建立完整的生态系统,SSEC客制化的设备,加上包括单晶圆湿制程(Single Wafer Wet Processing)等独步全球的技术,18寸晶圆制程设备已有初步开发成果,已有机台安装于美国国际半导体技术制造联盟(ISMI),并与世界各大厂合作开发新的制程技术

另外,SSEC在先进封装设备上也有所突破,尤其是即将在未来几年导入量产的3D IC。John Voltz表示,行动装置核心芯片需要采用28纳米以下先进制程,若能导入3D IC架构,将可在提高运算功能同时,也可有效降低功耗及缩小芯片尺寸。



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