张忠谋：资助ASML义不容辞

台积电董事长张忠谋7日表示，台积电加入半导体设备厂艾司摩尔（ASML）客户联合投资专案，资助其研究发展，是「义不容辞」。

至于媒体追问，台积电资本支出暴增是否会损及股东权益？张忠谋指出，台积电对任何财务规画都很保守，今年现金股利一定会保3。

中央社7日报导，台积电5日宣布，加入ASML客户联合投资专案；根据协议，台积电将投资ASML达8.38亿欧元，取得ASML约5%股权，未来5年并将投入2.76亿欧元，支持ASML的研发计划。

张忠谋表示，ASML在EUV微影及浸润式微影技术可说是独领风骚，也是台积电非常需要的，这次ASML邀请台积电入股，资助其研究发展，台积电「义不容辞」。

他说，何况，ASML以前研发表现出色，未来ASML股价上涨，台积电也会同享其利。

台积电执行副总经理暨共同营运长蒋尚义5日表示，台积电挹注ASML研发经费，将确保并加快EUV微影技术开发，同时提高既有光学微影工具效能，促进18寸晶圆制造技术的快速发展，将有助半导体业控制晶圆成本。